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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 有可以快速冷却的LPCVD吗？
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Angusskanal

木虫 (小有名气)

[交流] 有可以快速冷却的LPCVD吗？

希望从1000摄氏度开始降温时，每秒降10度以上，但我们的LPCVD只能自然降温。问题来了：
请问LPCVD理论上就不可能快速降温吗？我的理解是，只有常压CVD才能快速冷却。低压CVD因为在真空中，所以不能快速冷却。我希望我错了，请大神解答，真空中能快速冷却吗？谢谢。
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1楼 2013-10-21 18:42:35
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hngstephen

铜虫 (正式写手)
★
Angusskanal(金币+1): 谢谢参与
可能跟tool chamber size有关
我用的是200mm的tool, 低压时降温一般~4C/s就不错了
10C/s不可能
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22楼2013-10-23 14:35:12
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