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刻蚀率怎么测
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badboycyc
银虫
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注册: 2012-10-30
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专业: 结构陶瓷
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]
刻蚀率怎么测
如题,想知道怎么测出刻蚀的速率,都能用什么仪器~求大神帮助!
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自信来源于实力
1楼
2013-10-07 11:09:56
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银虫
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虫号: 908610
注册: 2009-11-21
性别: GG
专业: 半导体光电子器件
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★
badboycyc: 金币+4,
★★★
很有帮助
2013-12-07 11:47:25
干法刻蚀的话,一般都是采用光谱分析法,以及质朴分析。湿刻的话,目前一般是人工判断
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一下
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2楼
2013-12-05 20:17:33
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