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寂寞流年

新虫 (小有名气)

[求助] 恳请大家帮忙解答一下椭偏仪的问题!

我用变角度的椭偏仪对同一个样品进行了两次测试,测得的ψ和Δ这两条曲线基本一致,但是拟合之后的n,k关于波长的曲线相差甚远,请问大家,谁能根据ψ和Δ这两条曲线拟合出n,k关于波长的曲线,或者是有相关的软件或是算法,谢谢大家了!
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azuoin

铜虫 (初入文坛)


★ ★
寂寞流年(chemlh代发): 金币+2, 欢迎积极交流 2014-04-29 12:20:16
椭偏仪是相对方法测量。需要多数据进行模拟拟合。

同一样品,曲线基本一致,得到的结果差别很大。有如下可能:
1. 拟合过程出错
2. 拟合没有问题,对样品不够了解。(由于是相对方法,有可能厚度10nm时和厚度250nm时都得到很好的拟合结果,折光系数类似。所以需要了解样品大致折光率)
3. 样品有问题。

建议用光谱椭偏仪再次测量拟合。毕竟光谱椭偏仪的解析能力要好过单波长变角度椭偏仪。
2楼2014-04-29 10:51:23
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zitengluo721

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by azuoin at 2014-04-29 10:51:23
椭偏仪是相对方法测量。需要多数据进行模拟拟合。

同一样品,曲线基本一致,得到的结果差别很大。有如下可能:
1. 拟合过程出错
2. 拟合没有问题,对样品不够了解。(由于是相对方法,有可能厚度10nm时和厚度2 ...

你好,折光系数,你指的是透过率吗?
3楼2016-06-22 22:23:15
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