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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » 恳请大家帮忙解答一下椭偏仪的问题！
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寂寞流年

新虫 (小有名气)

[求助] 恳请大家帮忙解答一下椭偏仪的问题！

我用变角度的椭偏仪对同一个样品进行了两次测试，测得的ψ和Δ这两条曲线基本一致，但是拟合之后的n，k关于波长的曲线相差甚远，请问大家，谁能根据ψ和Δ这两条曲线拟合出n，k关于波长的曲线，或者是有相关的软件或是算法，谢谢大家了！
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1楼 2013-08-22 10:40:54
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azuoin

铜虫 (初入文坛)
★ ★
寂寞流年(chemlh代发): 金币+2, 欢迎积极交流 2014-04-29 12:20:16
椭偏仪是相对方法测量。需要多数据进行模拟拟合。

同一样品，曲线基本一致，得到的结果差别很大。有如下可能：
1. 拟合过程出错
2. 拟合没有问题，对样品不够了解。（由于是相对方法，有可能厚度10nm时和厚度250nm时都得到很好的拟合结果，折光系数类似。所以需要了解样品大致折光率）
3. 样品有问题。

建议用光谱椭偏仪再次测量拟合。毕竟光谱椭偏仪的解析能力要好过单波长变角度椭偏仪。
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2楼2014-04-29 10:51:23
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zitengluo721

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by azuoin at 2014-04-29 10:51:23
椭偏仪是相对方法测量。需要多数据进行模拟拟合。

同一样品，曲线基本一致，得到的结果差别很大。有如下可能：
1. 拟合过程出错
2. 拟合没有问题，对样品不够了解。（由于是相对方法，有可能厚度10nm时和厚度2 ...

你好，折光系数，你指的是透过率吗？
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3楼2016-06-22 22:23:15
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