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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 大家是怎么旋涂10微米以上的厚胶的？
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babyoflion

金虫 (著名写手)

[交流] 大家是怎么旋涂10微米以上的厚胶的？ 已有5人参与

怎么保证没有气泡，而且旋涂出来的厚胶表面也很光滑呢？
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1楼 2013-08-20 18:47:45
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mengxiang17

木虫 (小有名气)
多倒几次=w=
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2楼2013-08-20 20:28:15
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xiejf

专家顾问 (文学泰斗)

麦麦爸爸爱小牛
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应该用黏度较大的分散剂
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麦麦爸爸爱小牛
3楼2013-08-20 21:24:33
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静静一yi

捐助贵宾 (著名写手)

静静
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
一次多倒些，倒得时候注意不要有气泡，然后调整转数楼~一般用AZ4620或者su-81070系列的厚胶。机器或者匀胶机。
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15501697107
4楼2013-08-20 23:11:48
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babyoflion

金虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by mengxiang17 at 2013-08-20 20:28:15
多倒几次=w=

多倒几次？是指的多倒在不同的地方？还是在旋涂完一次后再倒再旋涂？谢谢！
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5楼2013-08-21 08:44:30
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babyoflion

金虫 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 静静一yi at 2013-08-20 23:11:48
一次多倒些，倒得时候注意不要有气泡，然后调整转数楼~一般用AZ4620或者su-81070系列的厚胶。机器或者匀胶机。

如果不考虑成本的话，不管多大的片子都可以直接将其倒满，然后旋涂就不会出现气泡或者什么的，但是那样的话 厚胶浪费的也太多了，毕竟厚胶的流动性是很差的
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6楼2013-08-21 08:46:04
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babyoflion

金虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by xiejf at 2013-08-20 21:24:33
应该用黏度较大的分散剂

厚胶粘度本来就很大了啊，分散剂是用来扩散的吗？对于厚胶su8来说有没有合适的分散剂推荐啊？》谢谢！
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7楼2013-08-21 08:48:10
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mengxiang17

木虫 (小有名气)
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5楼: Originally posted by babyoflion at 2013-08-21 08:44:30
多倒几次？是指的多倒在不同的地方？还是在旋涂完一次后再倒再旋涂？谢谢！...

多次旋涂厚度肯定不对

可以用什么工具预涂一下

不过其实我的本意是多练几次就好了=w=
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8楼2013-08-21 09:37:30
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静静一yi

捐助贵宾 (著名写手)

静静
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6楼: Originally posted by babyoflion at 2013-08-21 08:46:04
如果不考虑成本的话，不管多大的片子都可以直接将其倒满，然后旋涂就不会出现气泡或者什么的，但是那样的话 厚胶浪费的也太多了，毕竟厚胶的流动性是很差的...

其实我们实验室，都是用一次性的移液器吸几滴，再挤到硅片上，这样就会容易有气泡，多倒些的话，也是适当，如果胶层太厚，我们也会选择分两次涂
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15501697107
9楼2013-08-21 10:03:37
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babyoflion

金虫 (著名写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by mengxiang17 at 2013-08-21 09:37:30
多次旋涂厚度肯定不对

可以用什么工具预涂一下

不过其实我的本意是多练几次就好了=w=...

预涂什么的都试过了 而且一直在用 主要是预涂的时候会产生气泡一直到最后都没法消除
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10楼2013-08-21 12:47:17
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