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大家是怎么旋涂10微米以上的厚胶的?
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babyoflion
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大家是怎么旋涂10微米以上的厚胶的?
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怎么保证没有气泡,而且旋涂出来的厚胶表面也很光滑呢?
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2013-08-20 18:47:45
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6楼
:
Originally posted by
babyoflion
at 2013-08-21 08:46:04
如果不考虑成本的话,不管多大的片子都可以直接将其倒满,然后旋涂就不会出现气泡或者什么的,但是那样的话 厚胶浪费的也太多了,毕竟厚胶的流动性是很差的...
其实我们实验室,都是用一次性的移液器吸几滴,再挤到硅片上,这样就会容易有气泡,多倒些的话,也是适当,如果胶层太厚,我们也会选择分两次涂
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15501697107
9楼
2013-08-21 10:03:37
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应该用黏度较大的分散剂
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3楼
2013-08-20 21:24:33
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一次多倒些,倒得时候注意不要有气泡,然后调整转数楼~一般用AZ4620或者su-81070系列的厚胶。机器或者匀胶机。
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15501697107
4楼
2013-08-20 23:11:48
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2楼
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Originally posted by
mengxiang17
at 2013-08-20 20:28:15
多倒几次=w=
多倒几次?是指的多倒在不同的地方?还是在旋涂完一次后再倒再旋涂?谢谢!
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5楼
2013-08-21 08:44:30
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