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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 大家是怎么旋涂10微米以上的厚胶的？
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babyoflion

金虫 (著名写手)
引用回帖:
9楼: Originally posted by 静静一yi at 2013-08-21 10:03:37
其实我们实验室，都是用一次性的移液器吸几滴，再挤到硅片上，这样就会容易有气泡，多倒些的话，也是适当，如果胶层太厚，我们也会选择分两次涂...

分两次涂？？一次涂一半还是？但是有些胶单次涂就能达到理想厚度的 难道还要拿薄胶涂两次吗？
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11楼2013-08-21 12:48:36
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
10um厚度的胶，流动性并不差。
厚胶的表面光滑要看环境，同时衬底也要ok。
还有办法就是用溶剂做prewet，把片子先用溶剂浸润一下再涂胶。
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12楼2013-08-21 12:49:30
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babyoflion

金虫 (著名写手)
引用回帖:
12楼: Originally posted by yswyx at 2013-08-21 12:49:30
10um厚度的胶，流动性并不差。
厚胶的表面光滑要看环境，同时衬底也要ok。
还有办法就是用溶剂做prewet，把片子先用溶剂浸润一下再涂胶。

用溶剂浸润到时可以尝试下 ，但是担心对胶的性能有影响？》浸润后等挥发后在涂是吗？异丙醇可以吗？
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13楼2013-08-21 13:48:10
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dcj501

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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10楼: Originally posted by babyoflion at 2013-08-21 12:47:17
预涂什么的都试过了 而且一直在用 主要是预涂的时候会产生气泡一直到最后都没法消除...

气泡可以通过抽真空除去吧
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14楼2013-08-21 14:45:21
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
13楼: Originally posted by babyoflion at 2013-08-21 13:48:10
用溶剂浸润到时可以尝试下 ，但是担心对胶的性能有影响？》浸润后等挥发后在涂是吗？异丙醇可以吗？...

看你用的是什么胶，要用这款胶的溶剂去做prewet，对胶不会有什么影响。不用等挥发后再涂，低速下先涂溶剂，然后直接滴胶。
厚胶的气泡多数是因为自己排泡不好，或者是错误的滴胶方式造成的。不均匀性多数是环境和衬底表面引起的。所以你的描述很难让人判断。希望你能提供环境的洁净等级、温湿度等方面的数据。
常见正胶的溶剂大部分是PGMEA。不确定的话去查MSDS。购买的话找“静静一yi”
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15楼2013-08-21 15:27:20
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babyoflion

金虫 (著名写手)
引用回帖:
14楼: Originally posted by dcj501 at 2013-08-21 14:45:21
气泡可以通过抽真空除去吧...

这边现在就是没有给力的抽真空设备 所以还不太清楚，主要是旋涂出来的厚膜不平整，造成后续的曝光接触不好
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16楼2013-08-21 19:17:44
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babyoflion

金虫 (著名写手)
引用回帖:
15楼: Originally posted by yswyx at 2013-08-21 15:27:20
看你用的是什么胶，要用这款胶的溶剂去做prewet，对胶不会有什么影响。不用等挥发后再涂，低速下先涂溶剂，然后直接滴胶。
厚胶的气泡多数是因为自己排泡不好，或者是错误的滴胶方式造成的。不均匀性多数是环境和 ...

好的谢谢！
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17楼2013-08-21 19:19:30
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