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babyoflion

金虫 (著名写手)

引用回帖:
9楼: Originally posted by 静静一yi at 2013-08-21 10:03:37
其实我们实验室,都是用一次性的移液器吸几滴,再挤到硅片上,这样就会容易有气泡,多倒些的话,也是适当,如果胶层太厚,我们也会选择分两次涂...

分两次涂??一次涂一半还是?但是有些胶单次涂就能达到理想厚度的 难道还要拿薄胶涂两次吗?
11楼2013-08-21 12:48:36
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yswyx

专家顾问 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
10um厚度的胶,流动性并不差。
厚胶的表面光滑要看环境,同时衬底也要ok。
还有办法就是用溶剂做prewet,把片子先用溶剂浸润一下再涂胶。
12楼2013-08-21 12:49:30
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babyoflion

金虫 (著名写手)

引用回帖:
12楼: Originally posted by yswyx at 2013-08-21 12:49:30
10um厚度的胶,流动性并不差。
厚胶的表面光滑要看环境,同时衬底也要ok。
还有办法就是用溶剂做prewet,把片子先用溶剂浸润一下再涂胶。

用溶剂浸润到时可以尝试下 ,但是担心对胶的性能有影响?》浸润后等挥发后在涂是吗?异丙醇可以吗?
13楼2013-08-21 13:48:10
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dcj501

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
10楼: Originally posted by babyoflion at 2013-08-21 12:47:17
预涂什么的都试过了 而且一直在用 主要是预涂的时候会产生气泡一直到最后都没法消除...

气泡可以通过抽真空除去吧
14楼2013-08-21 14:45:21
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yswyx

专家顾问 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
13楼: Originally posted by babyoflion at 2013-08-21 13:48:10
用溶剂浸润到时可以尝试下 ,但是担心对胶的性能有影响?》浸润后等挥发后在涂是吗?异丙醇可以吗?...

看你用的是什么胶,要用这款胶的溶剂去做prewet,对胶不会有什么影响。不用等挥发后再涂,低速下先涂溶剂,然后直接滴胶。
厚胶的气泡多数是因为自己排泡不好,或者是错误的滴胶方式造成的。不均匀性多数是环境和衬底表面引起的。所以你的描述很难让人判断。希望你能提供环境的洁净等级、温湿度等方面的数据。
常见正胶的溶剂大部分是PGMEA。不确定的话去查MSDS。购买的话找“静静一yi”
15楼2013-08-21 15:27:20
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babyoflion

金虫 (著名写手)

引用回帖:
14楼: Originally posted by dcj501 at 2013-08-21 14:45:21
气泡可以通过抽真空除去吧...

这边现在就是没有给力的抽真空设备 所以还不太清楚,主要是旋涂出来的厚膜不平整,造成后续的曝光接触不好
16楼2013-08-21 19:17:44
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babyoflion

金虫 (著名写手)

引用回帖:
15楼: Originally posted by yswyx at 2013-08-21 15:27:20
看你用的是什么胶,要用这款胶的溶剂去做prewet,对胶不会有什么影响。不用等挥发后再涂,低速下先涂溶剂,然后直接滴胶。
厚胶的气泡多数是因为自己排泡不好,或者是错误的滴胶方式造成的。不均匀性多数是环境和 ...

好的谢谢!
17楼2013-08-21 19:19:30
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