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关于旋涂速率问题
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zrh82128
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关于旋涂速率问题
各位,我在文献上看到有人这样甩膜:先用低速旋涂(600rpm 3s)保证膜厚,然后用高速旋涂(4000rpm 20s)甩去杂质保证薄膜清洁。这与我的理解完全相悖:我一直认为膜厚会由高速旋涂决定。上述例子中,难道高速旋涂不会使膜进一步变薄吗?还是薄到一定厚度以下高速旋涂对其无效了?求解!
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2013-07-31 13:58:43
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4楼
:
Originally posted by
tianjinjun
at 2013-07-31 19:53:48
先用低速旋涂(600rpm 3s)保证膜厚,然后用高速旋涂(4000rpm 20s)甩去杂质保证薄膜清洁应该没有错,或许600就可以达到所需的厚度.
谢谢,这个可能与具体的材料有关了,需要去试试了。
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7楼
2013-08-01 10:45:31
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2013-07-31 23:07:29
我跟你的理解一样 膜厚的确由高速控制
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2楼
2013-07-31 15:21:46
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2013-07-31 23:07:38
你认为的是对的。高转速决定膜厚,低转速用于把胶匀开。
后面那句也是对的。对于给定的polymer,当转速大到一定程度后,增加转速膜厚不再减小。
但是600rpm是很低的转速,写那篇文章的是棒槌。
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3楼
2013-07-31 18:34:39
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先用低速旋涂(600rpm 3s)保证膜厚,然后用高速旋涂(4000rpm 20s)甩去杂质保证薄膜清洁应该没有错,或许600就可以达到所需的厚度.
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zrh82128
事儿都是自己找的!
4楼
2013-07-31 19:53:48
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