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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 关于旋涂速率问题
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zrh82128

木虫 (初入文坛)

[求助] 关于旋涂速率问题

各位，我在文献上看到有人这样甩膜：先用低速旋涂（600rpm 3s）保证膜厚，然后用高速旋涂（4000rpm 20s）甩去杂质保证薄膜清洁。这与我的理解完全相悖：我一直认为膜厚会由高速旋涂决定。上述例子中，难道高速旋涂不会使膜进一步变薄吗？还是薄到一定厚度以下高速旋涂对其无效了？求解！
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GOGOGO!!!!
1楼 2013-07-31 13:58:43
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zrh82128

木虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2013-07-31 18:34:39
你认为的是对的。高转速决定膜厚，低转速用于把胶匀开。
后面那句也是对的。对于给定的polymer，当转速大到一定程度后，增加转速膜厚不再减小。
但是600rpm是很低的转速，写那篇文章的是棒槌。

谢谢回答，我也对600rpm比较怀疑，但是这是一篇学位论文，应该是已经经过验证了的吧。所以疑惑。
另外，还有个问题顺便请教，旋涂的膜边缘会较厚，这个现象有没有什么办法可以缓解一下？膜厚稳定了再加速旋转可否起到改善？
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GOGOGO!!!!
6楼2013-08-01 10:44:37
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semi-white

铁杆木虫 (著名写手)

Pay first, then get.

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
124685887: 专家考核, 谢谢指导 2013-07-31 23:07:29
我跟你的理解一样     膜厚的确由高速控制
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2楼2013-07-31 15:21:46
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
124685887: 专家考核, 谢谢指导 2013-07-31 23:07:38
你认为的是对的。高转速决定膜厚，低转速用于把胶匀开。
后面那句也是对的。对于给定的polymer，当转速大到一定程度后，增加转速膜厚不再减小。
但是600rpm是很低的转速，写那篇文章的是棒槌。
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zrh82128
3楼2013-07-31 18:34:39
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tianjinjun

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
先用低速旋涂（600rpm 3s）保证膜厚，然后用高速旋涂（4000rpm 20s）甩去杂质保证薄膜清洁应该没有错,或许600就可以达到所需的厚度.
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zrh82128
事儿都是自己找的!
4楼2013-07-31 19:53:48
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