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zrh82128木虫 (初入文坛)
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[求助]
关于旋涂速率问题
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| 各位，我在文献上看到有人这样甩膜：先用低速旋涂（600rpm 3s）保证膜厚，然后用高速旋涂（4000rpm 20s）甩去杂质保证薄膜清洁。这与我的理解完全相悖：我一直认为膜厚会由高速旋涂决定。上述例子中，难道高速旋涂不会使膜进一步变薄吗？还是薄到一定厚度以下高速旋涂对其无效了？求解！ |
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zrh821284楼2013-07-31 19:53:48
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