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用溶胶凝胶法在硅片上旋涂薄膜出现问题 已有2人参与
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我在乙二醇甲醚里溶解某种金属的氯化物，然后70℃水浴加热2h，制成0.1mol/L的溶液，在硅片（硅片买来后未做任何处理，观察硅片表面很干净，我的实验是在洁净室中做的）上旋涂条件为：低转速300转/分，旋涂10s，接着高转速1500转/分，旋涂30s。刚旋涂好时硅片上的膜很好，很光滑，像镜面一样，如图1；接着出现了问题：膜表面开始出现点，点慢慢增多，并扩大，最后连在一起，如图2，我想知道是什么原因导致的，怎样才能解决。希望你们能帮助我，非常感谢。 图1.jpg  图2.jpg |
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6楼2013-07-30 15:49:10
zyz666888
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3楼2013-06-13 15:23:21
zyz666888
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