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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 用溶胶凝胶法在硅片上旋涂薄膜出现问题
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zhuleyong

新虫 (初入文坛)

[求助] 用溶胶凝胶法在硅片上旋涂薄膜出现问题 已有2人参与

我在乙二醇甲醚里溶解某种金属的氯化物，然后70℃水浴加热2h，制成0.1mol/L的溶液，在硅片（硅片买来后未做任何处理，观察硅片表面很干净，我的实验是在洁净室中做的）上旋涂条件为：低转速300转/分，旋涂10s，接着高转速1500转/分，旋涂30s。刚旋涂好时硅片上的膜很好，很光滑，像镜面一样，如图1；接着出现了问题：膜表面开始出现点，点慢慢增多，并扩大，最后连在一起，如图2，我想知道是什么原因导致的，怎样才能解决。希望你们能帮助我，非常感谢。
用溶胶凝胶法在硅片上旋涂薄膜出现问题
图1.jpg


用溶胶凝胶法在硅片上旋涂薄膜出现问题-1
图2.jpg
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1楼 2013-06-08 13:55:07
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zyz666888

至尊木虫 (著名写手)

轻描淡写
★
scu2020: 金币+1, 感谢交流，常来工艺技术版 2013-07-10 10:20:34
门外汉，不妨大胆一猜。

溶剂挥发速度太快了，或者说浓度太小。

要是猜对了，请奖励噢，
赞一下 回复此楼
2楼2013-06-08 22:11:05
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Zchannel

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
scu2020: 金币+1, 感谢交流，常来工艺技术版 2013-07-10 10:20:40
引用回帖:
2楼: Originally posted by zyz666888 at 2013-06-08 22:11:05
门外汉，不妨大胆一猜。

溶剂挥发速度太快了，或者说浓度太小。

要是猜对了，请奖励噢，

2楼说的有道理。
添加一些表面活性剂试试吧。
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学海无涯
3楼2013-06-13 15:23:21
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zyz666888

至尊木虫 (著名写手)

轻描淡写
引用回帖:
3楼: Originally posted by Zchannel at 2013-06-13 15:23:21
2楼说的有道理。
添加一些表面活性剂试试吧。...

谢谢支持。
我就想，类似于溶剂挥发析晶一样，
要是干了以后量太少，就会出现一簇一簇的结晶
不能成为一个整体。

解决根本问题还是靠内行啊
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4楼2013-06-13 20:08:05
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wwangllu

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
scu2020: 金币+1, 感谢交流，常来工艺技术版 2013-07-10 10:20:44
溶剂挥发太快吧，试着调节下粘度或者降低转速！
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5楼2013-07-09 18:45:56
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锦

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
zhuleyong(scu2020代发): 金币+1, 感谢应助交流，常来工艺技术版 2013-07-30 20:53:14
从图中看出你的膜同硅片之间的粘附力较差，两者相互作用力差，膜在基材表面的铺展影响膜形成；且采用溶剂表面张力太大，挥发速度太快，可以降低温度，或采用表面张力比较小的乙醇等溶剂试试
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6楼2013-07-30 15:49:10
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zyb0202

新虫 (初入文坛)
本帖内容被屏蔽
7楼2014-06-19 15:18:32
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caominone

木虫之王 (知名作家)

膜分离专家

优秀版主

【答案】应助回帖

★
scu2020: 金币+1, 感谢应助交流，常来工艺技术版 2014-06-23 23:12:33
你用的乙二醇甲醚 是高沸点的溶剂，不知道你的干燥方式是什么？在有就是硅基片的表面张力问题。你是真空干燥还是室温干燥/
赞一下 回复此楼
锅可以背，但不能不明不白
8楼2014-06-23 14:14:21
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