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zhuleyong

新虫 (初入文坛)

[求助] 用溶胶凝胶法在硅片上旋涂薄膜出现问题 已有2人参与

我在乙二醇甲醚里溶解某种金属的氯化物,然后70℃水浴加热2h,制成0.1mol/L的溶液,在硅片(硅片买来后未做任何处理,观察硅片表面很干净,我的实验是在洁净室中做的)上旋涂条件为:低转速300转/分,旋涂10s,接着高转速1500转/分,旋涂30s。刚旋涂好时硅片上的膜很好,很光滑,像镜面一样,如图1;接着出现了问题:膜表面开始出现点,点慢慢增多,并扩大,最后连在一起,如图2,我想知道是什么原因导致的,怎样才能解决。希望你们能帮助我,非常感谢。
用溶胶凝胶法在硅片上旋涂薄膜出现问题
图1.jpg


用溶胶凝胶法在硅片上旋涂薄膜出现问题-1
图2.jpg
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zyz666888

至尊木虫 (著名写手)

轻描淡写

引用回帖:
3楼: Originally posted by Zchannel at 2013-06-13 15:23:21
2楼说的有道理。
添加一些表面活性剂试试吧。...

谢谢支持。
我就想,类似于溶剂挥发析晶一样,
要是干了以后量太少,就会出现一簇一簇的结晶
不能成为一个整体。

解决根本问题还是靠内行啊
4楼2013-06-13 20:08:05
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zyz666888

至尊木虫 (著名写手)

轻描淡写


scu2020: 金币+1, 感谢交流,常来工艺技术版 2013-07-10 10:20:34
门外汉,不妨大胆一猜。

溶剂挥发速度太快了,或者说浓度太小。

要是猜对了,请奖励噢,
2楼2013-06-08 22:11:05
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Zchannel

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


scu2020: 金币+1, 感谢交流,常来工艺技术版 2013-07-10 10:20:40
引用回帖:
2楼: Originally posted by zyz666888 at 2013-06-08 22:11:05
门外汉,不妨大胆一猜。

溶剂挥发速度太快了,或者说浓度太小。

要是猜对了,请奖励噢,

2楼说的有道理。
添加一些表面活性剂试试吧。
学海无涯
3楼2013-06-13 15:23:21
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wwangllu

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


scu2020: 金币+1, 感谢交流,常来工艺技术版 2013-07-10 10:20:44
溶剂挥发太快吧,试着调节下粘度或者降低转速!
5楼2013-07-09 18:45:56
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