应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 用溶胶凝胶法在硅片上旋涂薄膜出现问题
51/1返回列表
查看: 1742  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

zhuleyong

新虫 (初入文坛)

[求助] 用溶胶凝胶法在硅片上旋涂薄膜出现问题 已有2人参与

我在乙二醇甲醚里溶解某种金属的氯化物，然后70℃水浴加热2h，制成0.1mol/L的溶液，在硅片（硅片买来后未做任何处理，观察硅片表面很干净，我的实验是在洁净室中做的）上旋涂条件为：低转速300转/分，旋涂10s，接着高转速1500转/分，旋涂30s。刚旋涂好时硅片上的膜很好，很光滑，像镜面一样，如图1；接着出现了问题：膜表面开始出现点，点慢慢增多，并扩大，最后连在一起，如图2，我想知道是什么原因导致的，怎样才能解决。希望你们能帮助我，非常感谢。
用溶胶凝胶法在硅片上旋涂薄膜出现问题
图1.jpg


用溶胶凝胶法在硅片上旋涂薄膜出现问题-1
图2.jpg
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2013-06-08 13:55:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Zchannel

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
scu2020: 金币+1, 感谢交流，常来工艺技术版 2013-07-10 10:20:40
引用回帖:
2楼: Originally posted by zyz666888 at 2013-06-08 22:11:05
门外汉，不妨大胆一猜。

溶剂挥发速度太快了，或者说浓度太小。

要是猜对了，请奖励噢，

2楼说的有道理。
添加一些表面活性剂试试吧。
赞一下 回复此楼
学海无涯
3楼2013-06-13 15:23:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答

zyz666888

至尊木虫 (著名写手)

轻描淡写
★
scu2020: 金币+1, 感谢交流，常来工艺技术版 2013-07-10 10:20:34
门外汉，不妨大胆一猜。

溶剂挥发速度太快了，或者说浓度太小。

要是猜对了，请奖励噢，
赞一下 回复此楼
2楼2013-06-08 22:11:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zyz666888

至尊木虫 (著名写手)

轻描淡写
引用回帖:
3楼: Originally posted by Zchannel at 2013-06-13 15:23:21
2楼说的有道理。
添加一些表面活性剂试试吧。...

谢谢支持。
我就想，类似于溶剂挥发析晶一样，
要是干了以后量太少，就会出现一簇一簇的结晶
不能成为一个整体。

解决根本问题还是靠内行啊
赞一下 回复此楼
4楼2013-06-13 20:08:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wwangllu

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
scu2020: 金币+1, 感谢交流，常来工艺技术版 2013-07-10 10:20:44
溶剂挥发太快吧，试着调节下粘度或者降低转速！
赞一下 回复此楼
5楼2013-07-09 18:45:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭