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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 硅片形貌处理问题
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咕噜0鱼

银虫 (小有名气)

[求助] 硅片形貌处理问题

买了两家不同厂家的硅片，都是N型的，晶向<100>,唯一不同的是电阻率一个是<0.01Ω cm，一个是0.01-0.02Ω cm。在显微镜下看，相同的倍数得到的图片是这样的，想请教一下各位能不能把第一种（<0.01Ω cm）腐蚀成第二种（0.01-0.02Ω cm）呢？

第一种.jpg



第二种.jpg
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1楼 2013-04-24 21:35:36
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
咕噜0鱼: 金币+2, ★有帮助 2013-04-26 19:15:58
非常感兴趣这个实验。
你两种硅片分别是买的谁家的？
从腐蚀效果上看第二种好像片子质量要差。腐蚀是沿着缺陷的位置先腐蚀的，所以100面典型的方坑如果密度大的话，应该缺陷密度也大。
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2楼2013-04-25 17:48:51
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咕噜0鱼

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-04-25 17:48:51
非常感兴趣这个实验。
你两种硅片分别是买的谁家的？
从腐蚀效果上看第二种好像片子质量要差。腐蚀是沿着缺陷的位置先腐蚀的，所以100面典型的方坑如果密度大的话，应该缺陷密度也大。

缺陷密度大的电阻率会更小吗？我图放错位置了，要对换一下，你看到的密密麻麻的那种电阻率会小一点。感觉密密麻麻的这种放在碱里面会变成第一种。
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3楼2013-04-26 19:18:37
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
咕噜0鱼: 金币+18, ★有帮助, 3 2013-05-06 08:48:06
引用回帖:
3楼: Originally posted by 咕噜0鱼 at 2013-04-26 19:18:37
缺陷密度大的电阻率会更小吗？我图放错位置了，要对换一下，你看到的密密麻麻的那种电阻率会小一点。感觉密密麻麻的这种放在碱里面会变成第一种。...

这个解释有可能成立。
因为，电阻率小的话，掺杂就高，微缺陷的密度就高。
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4楼2013-04-26 21:14:15
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)
有没有测试结果啊，学习一下
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5楼2013-04-27 08:48:55
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