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硅片形貌处理问题
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买了两家不同厂家的硅片，都是N型的，晶向<100>,唯一不同的是电阻率一个是<0.01Ω cm，一个是0.01-0.02Ω cm。在显微镜下看，相同的倍数得到的图片是这样的，想请教一下各位能不能把第一种（<0.01Ω cm）腐蚀成第二种（0.01-0.02Ω cm）呢？ 第一种.jpg  第二种.jpg |
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yswyx 
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