24小时热门版块排行榜    

查看: 801  |  回复: 4
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

咕噜0鱼

银虫 (小有名气)

[求助] 硅片形貌处理问题

买了两家不同厂家的硅片,都是N型的,晶向<100>,唯一不同的是电阻率一个是<0.01Ω cm,一个是0.01-0.02Ω cm。在显微镜下看,相同的倍数得到的图片是这样的,想请教一下各位能不能把第一种(<0.01Ω cm)腐蚀成第二种(0.01-0.02Ω cm)呢?

第一种.jpg



第二种.jpg
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

咕噜0鱼

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-04-25 17:48:51
非常感兴趣这个实验。
你两种硅片分别是买的谁家的?
从腐蚀效果上看第二种好像片子质量要差。腐蚀是沿着缺陷的位置先腐蚀的,所以100面典型的方坑如果密度大的话,应该缺陷密度也大。

缺陷密度大的电阻率会更小吗?我图放错位置了,要对换一下,你看到的密密麻麻的那种电阻率会小一点。感觉密密麻麻的这种放在碱里面会变成第一种。
3楼2013-04-26 19:18:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 咕噜0鱼 的主题更新
信息提示
请填处理意见