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硅片形貌处理问题
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买了两家不同厂家的硅片,都是N型的,晶向<100>,唯一不同的是电阻率一个是<0.01Ω cm,一个是0.01-0.02Ω cm。在显微镜下看,相同的倍数得到的图片是这样的,想请教一下各位能不能把第一种(<0.01Ω cm)腐蚀成第二种(0.01-0.02Ω cm)呢? 第一种.jpg 第二种.jpg |
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3楼2013-04-26 19:18:37







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