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taochao123

新虫 (小有名气)

[求助] 问关于国内做光刻的问题

请问国内什么地方可以做光刻?材料用PDMS,类似于做微流控的微米级管道的那种。。。

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weibiming

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

学校等科研机构有光刻机和其他工艺设备,半导体生产商也有的。你所说PDMS正如二楼所说,光刻得出一个模板后,再用PDMS弄出相反模具来。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
青春不是易逝的年华,而是一种永恒的心态!
3楼2013-03-26 01:17:15
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

PDMS都是用来做翻模的。你需要对硅进行光刻刻蚀,然后再用PDMS进行翻模,再得到图形化的PDMS。

站内联系我吧
2楼2013-03-25 21:24:07
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