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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » 问关于国内做光刻的问题
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taochao123

新虫 (小有名气)

[求助] 问关于国内做光刻的问题

请问国内什么地方可以做光刻？材料用PDMS，类似于做微流控的微米级管道的那种。。。

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1楼 2013-03-22 09:25:51
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

PDMS都是用来做翻模的。你需要对硅进行光刻刻蚀，然后再用PDMS进行翻模，再得到图形化的PDMS。

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2楼2013-03-25 21:24:07
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weibiming

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

学校等科研机构有光刻机和其他工艺设备，半导体生产商也有的。你所说PDMS正如二楼所说，光刻得出一个模板后，再用PDMS弄出相反模具来。

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青春不是易逝的年华，而是一种永恒的心态！
3楼2013-03-26 01:17:15
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