应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 有谁能在Si片上采用ALD沉积Fe膜，求合作，给钱的。
81/1返回列表
查看: 1289  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

leeeru

新虫 (小有名气)

[求助] 有谁能在Si片上采用ALD沉积Fe膜，求合作，给钱的。

大家好啊，我们现在在Si片上已经用电子束蒸发的方法镀了一层Al2O3，现在要在Al2O3上通过ALD的方法沉积一层厚度为0.8nm-1.2nm的Fe膜，不知道哪里ALD沉积Fe膜的工艺成熟，

[ Last edited by kunpeng1782 on 2013-3-12 at 21:48 ]
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2013-03-11 17:36:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ncepuchen

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
既然你们有电子束蒸发设备，还用ALD？电子束应该可以满足厚度的精度要求了
赞一下 回复此楼
知识的价值在于为创造想象，为我所用
2楼2013-03-11 19:02:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

leeeru

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by ncepuchen at 2013-03-11 19:02:06
既然你们有电子束蒸发设备，还用ALD？电子束应该可以满足厚度的精度要求了

电子束的我们已经做了，ALD是准备做其它用处的。
赞一下 回复此楼
3楼2013-03-11 19:07:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lsx2121

捐助贵宾 (小有名气)
感谢参与，应助指数 +1
本帖内容被屏蔽
4楼2013-03-11 23:05:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

leeeru

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by lsx2121 at 2013-03-11 23:05:11
用ALD 的方法做出纯 Fe ，目前世界上好像还没有做出来。  其他金属比如Pt 等到时可以做出。 可以做出Fe2O3.

如果0.8nm 或1.2nm Fe 是否能连续成膜，还需要考究。请告诉我你需要做的基片有多大？
用磁控溅射做纳 ...

谢谢啊，看来ALD做Fe的还真有点难度
赞一下 回复此楼
5楼2013-03-12 08:58:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yjreagin

银虫 (初入文坛)
你好，我想问一下用电子束蒸发的镀一层Al2O3是怎么做到的？直接蒸Al2O3就可以吗？反应温度是多少啊？谢谢
赞一下 回复此楼
6楼2013-04-08 10:34:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

leeeru

新虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by yjreagin at 2013-04-08 10:34:34
你好，我想问一下用电子束蒸发的镀一层Al2O3是怎么做到的？直接蒸Al2O3就可以吗？反应温度是多少啊？谢谢

直接加高压，把电子束打上去就可以了，我们没有控制温度，调一下加速电压和束流就行。
赞一下 回复此楼
7楼2013-04-08 21:52:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

nkq900120

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

我也是只生长Fe2O3而已，Fe膜... ...
赞一下 回复此楼
8楼2013-09-23 13:38:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 leeeru 的主题更新
81/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 7K1CJE38xLG4 2026-08-25 4/200 2026-08-26 02:04 by cNXvBfCpiZOM
[基金申请] 2026年8月25日国自然放榜前突然收到列入评审专家邮件，有关系吗？ +17 木水思豆 2026-08-25 20/1000 2026-08-26 01:26 by chengyan1220
[基金申请] 今天务委会开完了，明天出结果吗 +18 angus9576 2026-08-25 22/1100 2026-08-26 00:41 by merchancy
[基金申请] 在坚冰还盖着北海的时候，我看到了怒放的梅花。 (金币+10) +6 ziyangfang 2026-08-25 9/450 2026-08-25 20:26 by huagongfeihu
[基金申请] 明天应该可查了！？ +6 chengyan1220 2026-08-23 6/300 2026-08-25 19:45 by zfd97
[基金申请] 有没有大神帮我看看基金代码 28+4 1234567wang 2026-08-24 10/500 2026-08-25 19:15 by lfy8008
[基金申请] 今日不放榜？网传国自然预计 8 月 27 日可查结果 +17 医学老男孩 2026-08-20 22/1100 2026-08-25 15:36 by 医学老男孩
[基金申请] 没有任何消息-是不是就凉了 +9 图啦图啦 2026-08-24 10/500 2026-08-25 11:59 by 南海小哥
[基金申请] 人气不行了 +11 fansofjerry 2026-08-21 11/550 2026-08-25 11:04 by 孤独的英雄6
[基金申请] 2026年的国家社科基金项目通讯评审的新规则与新动向、新挑战 +5 process2012 2026-08-23 7/350 2026-08-25 09:42 by huixian257
[基金申请] 今天基金会出结果吗？20260819 +17 kkkl_v 2026-08-19 18/900 2026-08-25 09:41 by windflowerwy
[基金申请] 范进中举一文的中心思想 +7 炎黄贵胄 2026-08-22 8/400 2026-08-25 08:48 by ZJTJZ
[基金申请] 只有每年这种时候来逛逛小木虫 +25 yaoyewhu2008 2026-08-20 27/1350 2026-08-25 08:01 by Equinoxhua
[基金申请] 能否退出参与的面上项目解除限项 +21 koalala 2026-08-24 24/1200 2026-08-24 19:25 by 家与远方
[基金申请] filecode，4个jtjc了 +14 ziyangfang 2026-08-19 17/850 2026-08-24 18:37 by 哈哈蛤？
[基金申请] 今天放榜吗？ +15 布布和一二 2026-08-19 16/800 2026-08-23 09:55 by 张春生
[基金申请] 时间戳今天，20号变了 +5 archvillain 2026-08-20 5/250 2026-08-22 06:12 by hui_daxiao
[基金申请] 应该是下周三26日公布了吧？ +4 哈哈蛤？ 2026-08-21 4/200 2026-08-21 10:58 by Vivilian
[基金申请] 今天放榜没戏了吧 +9 yuleib84 2026-08-19 11/550 2026-08-21 10:06 by gltch
[基金申请] 基金啊基金 +4 longfie172 2026-08-20 4/200 2026-08-21 08:58 by mark mao
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭