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[求助]
有谁能在Si片上采用ALD沉积Fe膜，求合作，给钱的。
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大家好啊，我们现在在Si片上已经用电子束蒸发的方法镀了一层Al2O3，现在要在Al2O3上通过ALD的方法沉积一层厚度为0.8nm-1.2nm的Fe膜，不知道哪里ALD沉积Fe膜的工艺成熟， [ Last edited by kunpeng1782 on 2013-3-12 at 21:48 ] |
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4楼2013-03-11 23:05:11