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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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leeeru

新虫 (小有名气)

[求助] 有谁能在Si片上采用ALD沉积Fe膜,求合作,给钱的。

大家好啊,我们现在在Si片上已经用电子束蒸发的方法镀了一层Al2O3,现在要在Al2O3上通过ALD的方法沉积一层厚度为0.8nm-1.2nm的Fe膜,不知道哪里ALD沉积Fe膜的工艺成熟,

[ Last edited by kunpeng1782 on 2013-3-12 at 21:48 ]
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ncepuchen

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
既然你们有电子束蒸发设备,还用ALD?电子束应该可以满足厚度的精度要求了
知识的价值在于为创造想象,为我所用
2楼2013-03-11 19:02:06
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leeeru

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by ncepuchen at 2013-03-11 19:02:06
既然你们有电子束蒸发设备,还用ALD?电子束应该可以满足厚度的精度要求了

电子束的我们已经做了,ALD是准备做其它用处的。
3楼2013-03-11 19:07:34
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lsx2121

捐助贵宾 (小有名气)

感谢参与,应助指数 +1
本帖内容被屏蔽

4楼2013-03-11 23:05:11
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leeeru

新虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by lsx2121 at 2013-03-11 23:05:11
用ALD 的方法做出纯 Fe ,目前世界上好像还没有做出来。  其他金属比如Pt 等到时可以做出。 可以做出Fe2O3.

如果0.8nm 或1.2nm Fe 是否能连续成膜,还需要考究。请告诉我你需要做的基片有多大?
用磁控溅射做纳 ...

谢谢啊,看来ALD做Fe的还真有点难度
5楼2013-03-12 08:58:35
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yjreagin

银虫 (初入文坛)

你好,我想问一下用电子束蒸发的镀一层Al2O3是怎么做到的?直接蒸Al2O3就可以吗?反应温度是多少啊?谢谢
6楼2013-04-08 10:34:34
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leeeru

新虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by yjreagin at 2013-04-08 10:34:34
你好,我想问一下用电子束蒸发的镀一层Al2O3是怎么做到的?直接蒸Al2O3就可以吗?反应温度是多少啊?谢谢

直接加高压,把电子束打上去就可以了,我们没有控制温度,调一下加速电压和束流就行。
7楼2013-04-08 21:52:58
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nkq900120

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

我也是只生长Fe2O3而已,Fe膜... ...
8楼2013-09-23 13:38:50
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