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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控反应溅射氧化锌薄膜时氧氩比为2:1即氧气过量时对薄膜有何影响
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wtwang0817

新虫 (小有名气)

[交流] 磁控反应溅射氧化锌薄膜时氧氩比为2:1即氧气过量时对薄膜有何影响

大家好，我是新手。在实验室用直流磁控溅射反应制备氧化锌，当我采用氧氩比为2:1时，制备的薄膜比较透明，我想知道当氧过量时对薄膜生成有什么影响？谢谢啦
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1楼 2012-12-13 16:26:13
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wtwang0817

新虫 (小有名气)
首先谢谢你哦，我在制备氧化锌薄膜的时候，会变成淡黄色的薄膜，不知道这是什么原因？
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2楼2012-12-13 21:33:48
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wangyong832

银虫 (著名写手)
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zhaohaixing: 鼓励交流 2012-12-14 09:16:08
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2楼: Originally posted by wtwang0817 at 2012-12-13 21:33:48
首先谢谢你哦，我在制备氧化锌薄膜的时候，会变成淡黄色的薄膜，不知道这是什么原因？

氧过量可能会引起缺陷类型 数量上有所差异
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3楼2012-12-14 01:50:53
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xpengpengx

铜虫 (小有名气)
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zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流 2012-12-14 09:16:28
通常来讲，氧越多成膜速率会越慢   氧过量的话氧空位可能会降低，这会影响你膜的电导率  另外，你所说的膜成淡黄色的这个与你膜的厚度有关，膜的厚度不同对光的折射率不同你看到的颜色就不同   注意，透明与无色不是同一个概念
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4楼2012-12-14 08:20:02
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)
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zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流 2012-12-14 09:16:40
目前，对ZnO膜导电的机理有几种看法，即氧空位、锌间隙、还有H离子的影响。以上几种观点都有一定的证据论证了。因此，你氧分压过高的话，有可能使ZnO膜中氧空位的缺陷类型减少，从而影响到薄膜的电导率。另外，也会影响到薄膜的禁带宽度，从而影响薄膜光透过率，是的吸收边蓝移或者红移。
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5楼2012-12-14 08:32:05
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wtwang0817

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by xpengpengx at 2012-12-14 08:20:02
通常来讲，氧越多成膜速率会越慢   氧过量的话氧空位可能会降低，这会影响你膜的电导率  另外，你所说的膜成淡黄色的这个与你膜的厚度有关，膜的厚度不同对光的折射率不同你看到的颜色就不同   注意，透明与无色不是 ...

哦，我知道了，我在不同的氧氩比下做了多组样品，但是发现只要薄膜沉积超过一个微米，薄膜就开始发黄，光透过率约为70%到80%，我想用样品做拉曼反射，不知道这对做测试有没有影响呢？
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6楼2012-12-14 09:10:11
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wtwang0817

新虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2012-12-14 08:32:05
目前，对ZnO膜导电的机理有几种看法，即氧空位、锌间隙、还有H离子的影响。以上几种观点都有一定的证据论证了。因此，你氧分压过高的话，有可能使ZnO膜中氧空位的缺陷类型减少，从而影响到薄膜的电导率。另外，也会 ...

谢谢你的解答。我还有一点疑问，就是我在不用的氧分压下都做了几组样品，发现沉积厚度增加了以后，薄膜就开始显淡黄色透明薄膜，透光率只有70%左右，在不同的温度下也做过测试，发现也是呈淡黄色，不知道影响薄膜光透过率的因素还有哪些呢？
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7楼2012-12-14 09:17:57
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caoxiafei

专家顾问 (著名写手)
★
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在透过率曲线中，应该在黄色波长处有高的透过，在紫光波长处透过较弱
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8楼2012-12-14 19:40:12
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xpengpengx

铜虫 (小有名气)
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引用回帖:
6楼: Originally posted by wtwang0817 at 2012-12-14 09:10:11
哦，我知道了，我在不同的氧氩比下做了多组样品，但是发现只要薄膜沉积超过一个微米，薄膜就开始发黄，光透过率约为70%到80%，我想用样品做拉曼反射，不知道这对做测试有没有影响呢？...

拉曼散射对样品的厚度有一定的要求，对于薄膜通常要求至少一个微米以上，如果小于一个微米测出的峰就是你衬底的峰（主要的峰是你衬底的峰，分析不出关于你薄膜的有用信息）   如果你的薄膜是用来做器件的，而你的器件所要求薄膜的厚度小于1个um那你做这个测试就没什么意义，如果单单是测一下该厚度下薄膜的性能还是可以的   另外，薄膜的厚度会影响薄膜的性能，主要对电导率会有较大影响
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9楼2012-12-15 08:27:23
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jhtzj138

新虫 (初入文坛)
★
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氧气多，所得的薄膜氧空位少，禁带宽度大，透过性好，导电性差。薄膜颜色与厚度相关
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10楼2013-02-18 01:32:28
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