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磁控反应溅射氧化锌薄膜时氧氩比为2:1即氧气过量时对薄膜有何影响
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wtwang0817
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磁控反应溅射氧化锌薄膜时氧氩比为2:1即氧气过量时对薄膜有何影响
大家好,我是新手。在实验室用直流磁控溅射反应制备氧化锌,当我采用氧氩比为2:1时,制备的薄膜比较透明,我想知道当氧过量时对薄膜生成有什么影响?谢谢啦
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1楼
2012-12-13 16:26:13
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wtwang0817
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4楼
:
Originally posted by
xpengpengx
at 2012-12-14 08:20:02
通常来讲,氧越多成膜速率会越慢 氧过量的话氧空位可能会降低,这会影响你膜的电导率 另外,你所说的膜成淡黄色的这个与你膜的厚度有关,膜的厚度不同对光的折射率不同你看到的颜色就不同 注意,透明与无色不是 ...
哦,我知道了,我在不同的氧氩比下做了多组样品,但是发现只要薄膜沉积超过一个微米,薄膜就开始发黄,光透过率约为70%到80%,我想用样品做拉曼反射,不知道这对做测试有没有影响呢?
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6楼
2012-12-14 09:10:11
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wtwang0817
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首先谢谢你哦,我在制备氧化锌薄膜的时候,会变成淡黄色的薄膜,不知道这是什么原因?
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2楼
2012-12-13 21:33:48
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wangyong832
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
zhaohaixing: 鼓励交流
2012-12-14 09:16:08
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2楼
:
Originally posted by
wtwang0817
at 2012-12-13 21:33:48
首先谢谢你哦,我在制备氧化锌薄膜的时候,会变成淡黄色的薄膜,不知道这是什么原因?
氧过量可能会引起缺陷类型 数量上有所差异
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3楼
2012-12-14 01:50:53
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xpengpengx
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虫号: 2138044
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流
2012-12-14 09:16:28
通常来讲,氧越多成膜速率会越慢 氧过量的话氧空位可能会降低,这会影响你膜的电导率 另外,你所说的膜成淡黄色的这个与你膜的厚度有关,膜的厚度不同对光的折射率不同你看到的颜色就不同 注意,透明与无色不是同一个概念
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4楼
2012-12-14 08:20:02
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