应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控反应溅射氧化锌薄膜时氧氩比为2:1即氧气过量时对薄膜有何影响
51/1返回列表
查看: 1607  |  回复: 9
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

wtwang0817

新虫 (小有名气)

[交流] 磁控反应溅射氧化锌薄膜时氧氩比为2:1即氧气过量时对薄膜有何影响

大家好，我是新手。在实验室用直流磁控溅射反应制备氧化锌，当我采用氧氩比为2:1时，制备的薄膜比较透明，我想知道当氧过量时对薄膜生成有什么影响？谢谢啦
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

反应磁控溅射

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2012-12-13 16:26:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wangyong832

银虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
zhaohaixing: 鼓励交流 2012-12-14 09:16:08
引用回帖:
2楼: Originally posted by wtwang0817 at 2012-12-13 21:33:48
首先谢谢你哦，我在制备氧化锌薄膜的时候，会变成淡黄色的薄膜，不知道这是什么原因？

氧过量可能会引起缺陷类型 数量上有所差异
赞一下 回复此楼
3楼2012-12-14 01:50:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 10 个回答

wtwang0817

新虫 (小有名气)
首先谢谢你哦，我在制备氧化锌薄膜的时候，会变成淡黄色的薄膜，不知道这是什么原因？
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2012-12-13 21:33:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xpengpengx

铜虫 (小有名气)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流 2012-12-14 09:16:28
通常来讲，氧越多成膜速率会越慢   氧过量的话氧空位可能会降低，这会影响你膜的电导率  另外，你所说的膜成淡黄色的这个与你膜的厚度有关，膜的厚度不同对光的折射率不同你看到的颜色就不同   注意，透明与无色不是同一个概念
赞一下 回复此楼
4楼2012-12-14 08:20:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

钦点木瓜

金虫 (著名写手)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流 2012-12-14 09:16:40
目前，对ZnO膜导电的机理有几种看法，即氧空位、锌间隙、还有H离子的影响。以上几种观点都有一定的证据论证了。因此，你氧分压过高的话，有可能使ZnO膜中氧空位的缺陷类型减少，从而影响到薄膜的电导率。另外，也会影响到薄膜的禁带宽度，从而影响薄膜光透过率，是的吸收边蓝移或者红移。
赞一下 回复此楼
5楼2012-12-14 08:32:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 10 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭