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wtwang0817

新虫 (小有名气)

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[交流] 磁控反应溅射氧化锌薄膜时氧氩比为2:1即氧气过量时对薄膜有何影响

大家好，我是新手。在实验室用直流磁控溅射反应制备氧化锌，当我采用氧氩比为2:1时，制备的薄膜比较透明，我想知道当氧过量时对薄膜生成有什么影响？谢谢啦

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1楼 2012-12-13 16:26:13

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wtwang0817

新虫 (小有名气)

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引用回帖:

5楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2012-12-14 08:32:05
目前，对ZnO膜导电的机理有几种看法，即氧空位、锌间隙、还有H离子的影响。以上几种观点都有一定的证据论证了。因此，你氧分压过高的话，有可能使ZnO膜中氧空位的缺陷类型减少，从而影响到薄膜的电导率。另外，也会 ...

谢谢你的解答。我还有一点疑问，就是我在不用的氧分压下都做了几组样品，发现沉积厚度增加了以后，薄膜就开始显淡黄色透明薄膜，透光率只有70%左右，在不同的温度下也做过测试，发现也是呈淡黄色，不知道影响薄膜光透过率的因素还有哪些呢？