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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控反应溅射氧化锌薄膜时氧氩比为2:1即氧气过量时对薄膜有何影响
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wtwang0817

新虫 (小有名气)

[交流] 磁控反应溅射氧化锌薄膜时氧氩比为2:1即氧气过量时对薄膜有何影响

大家好，我是新手。在实验室用直流磁控溅射反应制备氧化锌，当我采用氧氩比为2:1时，制备的薄膜比较透明，我想知道当氧过量时对薄膜生成有什么影响？谢谢啦
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1楼2012-12-13 16:26:13
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xpengpengx

铜虫 (小有名气)
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6楼: Originally posted by wtwang0817 at 2012-12-14 09:10:11
哦，我知道了，我在不同的氧氩比下做了多组样品，但是发现只要薄膜沉积超过一个微米，薄膜就开始发黄，光透过率约为70%到80%，我想用样品做拉曼反射，不知道这对做测试有没有影响呢？...

拉曼散射对样品的厚度有一定的要求，对于薄膜通常要求至少一个微米以上，如果小于一个微米测出的峰就是你衬底的峰（主要的峰是你衬底的峰，分析不出关于你薄膜的有用信息）   如果你的薄膜是用来做器件的，而你的器件所要求薄膜的厚度小于1个um那你做这个测试就没什么意义，如果单单是测一下该厚度下薄膜的性能还是可以的   另外，薄膜的厚度会影响薄膜的性能，主要对电导率会有较大影响
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9楼2012-12-15 08:27:23
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wtwang0817

新虫 (小有名气)
首先谢谢你哦，我在制备氧化锌薄膜的时候，会变成淡黄色的薄膜，不知道这是什么原因？
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2楼2012-12-13 21:33:48
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wangyong832

银虫 (著名写手)
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zhaohaixing: 鼓励交流 2012-12-14 09:16:08
引用回帖:
2楼: Originally posted by wtwang0817 at 2012-12-13 21:33:48
首先谢谢你哦，我在制备氧化锌薄膜的时候，会变成淡黄色的薄膜，不知道这是什么原因？

氧过量可能会引起缺陷类型 数量上有所差异
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3楼2012-12-14 01:50:53
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xpengpengx

铜虫 (小有名气)
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zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流 2012-12-14 09:16:28
通常来讲，氧越多成膜速率会越慢   氧过量的话氧空位可能会降低，这会影响你膜的电导率  另外，你所说的膜成淡黄色的这个与你膜的厚度有关，膜的厚度不同对光的折射率不同你看到的颜色就不同   注意，透明与无色不是同一个概念
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4楼2012-12-14 08:20:02
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