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求助哪里可以做RIE刻蚀金属铝膜
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cuilin0512
木虫
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应助: 1
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散金: 1600
红花: 12
帖子: 1019
在线: 6778.9小时
虫号: 641563
注册: 2008-10-31
性别: GG
专业: 凝聚态物性 II :电子结构
[
求助
]
求助哪里可以做RIE刻蚀金属铝膜
本人现在已经在铝膜上纳米压印出了胶的图形,下一步需要做RIE或ICP干法刻蚀铝膜,但一直没找到合适的单位加工,求助大家提供一下,万分感激!
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