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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求助哪里可以做RIE刻蚀金属铝膜
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cuilin0512

木虫 (著名写手)

[求助] 求助哪里可以做RIE刻蚀金属铝膜

本人现在已经在铝膜上纳米压印出了胶的图形，下一步需要做RIE或ICP干法刻蚀铝膜，但一直没找到合适的单位加工，求助大家提供一下，万分感激！
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开开心心每一天！
1楼 2012-12-06 09:26:27
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conan555

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
cuilin0512: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-12-10 10:32:33
苏州纳米所加工平台就可以。
http://snff.sinano.ac.cn/
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2楼2012-12-06 09:58:15
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