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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 溅射时，晶面取向对薄膜的影响
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aujoniy

木虫 (小有名气)

[交流] 溅射时，晶面取向对薄膜的影响

今天看到一篇文献说溅射时，晶体（靶材）的密排面优先被溅射出来，但是只是概述，没有引文，也没说为什么，所以我想问问大家有没有人知道这个原理的？或者有相关的具体的文献的，能分享下不，感激不尽！
另外，下面是我的一些理解
拿金来说吧，面心立方，密排面为111，按我的理解原则上密排面上原子排列紧密，原子间距为0.5*sqrt(a)，键能大，那么溅射时需要的能量不是更高吗？怎么能优先溅射？
而且想的多了突然又想到键长、键能概念。面心立方中，Au有两种位置，一是边角位置，二是面心位置，那么（边角——边角）和（边角——面心）两者的核间距不一样，那么键能也应该是不一样的了，那么我们平时说的那个键长和键能又是什么？我感觉自己把自己绕进去了。。。。
或者是我哪里理解错了吗？
而且按着这个思路继续发散下去的话，不同位置的Au被轰击出来时的能量就是不一样的，那么沉积的薄膜的性能不同，是这个道理吗？

[ Last edited by aujoniy on 2012-12-3 at 20:25 ]
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1楼 2012-12-02 23:20:39
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wu1008

金虫 (著名写手)
★
aujoniy(金币+1): 谢谢参与
chemlh: 欢迎积极交流 2012-12-03 07:19:25
你是说，轰击材料的时候，材料不同晶面的溅射速率不一样，还是什么？没有明白你的意思！
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2楼2012-12-03 00:08:20
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userhung

禁虫 (文学泰斗)
★
aujoniy(金币+1): 谢谢参与
chemlh: 欢迎积极交流 2012-12-04 07:53:23
是轰击溅射？
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3楼2012-12-03 07:26:58
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)
★
aujoniy(金币+1): 谢谢参与
chemlh: 欢迎积极交流 2012-12-04 07:53:30
晶面的形成，一般都是形成能最低的晶面优先形成的。对于密排面，形成能地，所以优先形成。
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5楼2012-12-03 08:39:00
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aujoniy

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wu1008 at 2012-12-03 00:08:20
你是说，轰击材料的时候，材料不同晶面的溅射速率不一样，还是什么？没有明白你的意思！

是轰击材料，不是生成的薄膜，抱歉没说明白

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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10楼2012-12-03 12:59:49
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aujoniy

木虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by userhung at 2012-12-03 07:26:58
是轰击溅射？

是的

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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11楼2012-12-03 13:01:46
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gcworm

木虫 (职业作家)
★
aujoniy(金币+1): 谢谢参与
路过，帮你顶一下
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13楼2012-12-03 13:59:43
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wu1008

金虫 (著名写手)
引用回帖:
10楼: Originally posted by aujoniy at 2012-12-03 12:59:49
是轰击材料，不是生成的薄膜，抱歉没说明白
...

这就不清楚了
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14楼2012-12-03 17:17:18
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aujoniy

木虫 (小有名气)
自己来顶一下，有没有人可以交流交流的
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15楼2012-12-03 20:30:23
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Smallpeng

木虫 (正式写手)
★
aujoniy(金币+1): 谢谢参与
你没法说明你的溅射面是哪一个吧？所以说被溅射靶材晶体整体上还是均匀的被轰击
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16楼2012-12-05 20:34:06
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我是一笼包子

金虫 (正式写手)
★
aujoniy(金币+1): 谢谢参与
帮顶
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17楼2012-12-05 21:05:12
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材料小白白白

铁虫 (初入文坛)
★
aujoniy(金币+1): 谢谢参与
大哥，这个想法你解决了吗？小弟也有这样的困惑啊
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22楼2020-05-27 11:23:09
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简单回复
gkf1234楼
2012-12-03 08:12   回复  
aujoniy(金币+1): 谢谢参与
neu2346楼
2012-12-03 08:58   回复  
aujoniy(金币+1): 谢谢参与
8531974867楼
2012-12-03 09:04   回复  
aujoniy(金币+1): 谢谢参与
springsunyj8楼
2012-12-03 09:40   回复  
aujoniy(金币+1): 谢谢参与
TLnewjourney9楼
2012-12-03 10:30   回复  
aujoniy(金币+1): 谢谢参与
樱木花道612楼
2012-12-03 13:37   回复  
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蒋青松18楼
2012-12-05 22:02   回复  
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似水流年12319楼
2012-12-06 18:01   回复  
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su-b0820楼
2012-12-06 18:31   回复  
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宗铭21楼
2012-12-06 20:38   回复  
aujoniy(金币+1): 谢谢参与
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