| 查看: 2908 | 回复: 21 | ||||
[交流]
溅射时，晶面取向对薄膜的影响
|
||||
|
今天看到一篇文献说溅射时，晶体（靶材）的密排面优先被溅射出来，但是只是概述，没有引文，也没说为什么，所以我想问问大家有没有人知道这个原理的？或者有相关的具体的文献的，能分享下不，感激不尽！ 另外，下面是我的一些理解 拿金来说吧，面心立方，密排面为111，按我的理解原则上密排面上原子排列紧密，原子间距为0.5*sqrt(a)，键能大，那么溅射时需要的能量不是更高吗？怎么能优先溅射？ 而且想的多了突然又想到键长、键能概念。面心立方中，Au有两种位置，一是边角位置，二是面心位置，那么（边角——边角）和（边角——面心）两者的核间距不一样，那么键能也应该是不一样的了，那么我们平时说的那个键长和键能又是什么？我感觉自己把自己绕进去了。。。。 或者是我哪里理解错了吗？ 而且按着这个思路继续发散下去的话，不同位置的Au被轰击出来时的能量就是不一样的，那么沉积的薄膜的性能不同，是这个道理吗？ [ Last edited by aujoniy on 2012-12-3 at 20:25 ] |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜材料和器件制备 |
» 猜你喜欢
我应该选哪条合成路线让实验成功率高一些？
已经有8人回复
-
烦躁
已经有8人回复
-
入职后第一次管课题组的专利缴费，对账才发现官费比别人多掏了一倍
已经有3人回复
-
各位大佬，路线设计求助
已经有7人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- HRTEM图晶面间距标法
已经有14人回复
- 求助：请问知道晶面指数和相应的d值怎么确定晶系呢？谢谢啦
已经有13人回复
- 能够从TEM晶格图片判断晶面吗？
已经有34人回复
- XRD图用布拉格方程计算晶面间距的θ
已经有4人回复
- 人工晶体方面，有哪些国外好发的EI和SCI？
已经有7人回复
- 分享一篇JACS新作，关于core/shell结构，晶面控制以及氮掺杂TiO2可见光催化
已经有44人回复
- 晶界薄膜（IGF）、晶界偏聚、晶界吸附、晶界完全润湿等方面的问题
已经有10人回复
- 热处理TiO2，高温时未出现金红石，但(101)晶面衍射峰强变弱是为什么？
已经有12人回复
- 请教如何做晶面，如（111）面问题
已经有5人回复
- 【求助】请教XRD只有1个衍射峰 纳米Ag，只有（111）晶面
已经有13人回复
- 请教：晶面表示的问题
已经有3人回复
- 磁控溅射镀膜，材料是多晶，XRD会不会出现晶面择优生长，或有的晶面不出现呢？
已经有7人回复
- diamond怎么画某些晶面裸露的多面体
已经有3人回复
- 【求助】为什么入射电子与衍射晶面之间的夹角并不精确满足布拉格条件时也能产生衍射
已经有5人回复
- 【请教】石英晶体不同晶面的结构问题
已经有9人回复
- 【请教】分析SAED谱，结果晶面指数为分数
已经有11人回复
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
2026年人文教育与社会发展国际会议（HESD 2026）
+1/935
-
南开大学环境科学与工程学院 环境与人体健康方向 招博士研究生
+1/87
-
双一流大学湘潭大学“化工过程模拟与强化”国家地方联合工程研究中心招收博士生
+1/41
-
双一流湘潭大学化工学院招收化工、能源动力、工程热物理相关研究生调剂
+1/40
-
深圳技术大学药学院｜接收2026年推免季研究生
+1/38
-
电子科技大学2027年博士生招生｜电池材料与AI4S方向｜拟招3名
+1/36
-
深圳技术大学药学院接收2026年推免季研究生
+1/35
-
博士招生 - 隐私计算 大模型隐私与安全
+1/24
-
高分辨质谱测试丨科研单位对外服务
+1/20
-
中山大学微纳光电器件课题组招聘2027博士/博士后
+1/19
-
澳洲全奖博士招生 - 大模型隐私与安全 隐私计算
+1/17
-
重庆大学国家储能技术产教融合创新平台招收2027年入学博士及博士后
+1/10
-
中山大学微纳光电器件课题组招聘2027博士/博士后
+1/8
-
深圳理工大学史志方课题组招聘研究助理教授、博士后和工程师
+1/7
-
是遇到投稿系统bug了吗
+1/5
-
上海交通大学化学化工学院张智涛课题组诚聘博士后
+1/4
-
90年小马哥在宁波等着你~~~~~~
+1/3
-
SoCAV（网联自动驾驶车辆国际研讨会）
+1/2
-
智能传感器网络实时数据处理：时序分析、DNN调度与MQTT边缘AI工作站配置
+1/2
-
江苏科技大学有机合成课题组招聘2027博士研究生
+1/1
2楼2012-12-03 00:08:20
3楼2012-12-03 07:26:58
5楼2012-12-03 08:39:00
10楼2012-12-03 12:59:49
11楼2012-12-03 13:01:46
13楼2012-12-03 13:59:43
14楼2012-12-03 17:17:18
15楼2012-12-03 20:30:23
16楼2012-12-05 20:34:06
17楼2012-12-05 21:05:12
22楼2020-05-27 11:23:09
简单回复
gkf1234楼
2012-12-03 08:12
回复
aujoniy(金币+1): 谢谢参与
neu2346楼
2012-12-03 08:58
回复
aujoniy(金币+1): 谢谢参与
2012-12-03 09:04
回复
aujoniy(金币+1): 谢谢参与
2012-12-03 09:40
回复
aujoniy(金币+1): 谢谢参与
2012-12-03 10:30
回复
aujoniy(金币+1): 谢谢参与
樱木花道612楼
2012-12-03 13:37
回复
aujoniy(金币+1): 谢谢参与
蒋青松18楼
2012-12-05 22:02
回复
aujoniy(金币+1): 谢谢参与
似水流年12319楼
2012-12-06 18:01
回复
aujoniy(金币+1): 谢谢参与
su-b0820楼
2012-12-06 18:31
回复
aujoniy(金币+1): 谢谢参与
宗铭21楼
2012-12-06 20:38
回复
aujoniy(金币+1): 谢谢参与
