| 查看: 2257 | 回复: 21 | ||||
[交流]
溅射时，晶面取向对薄膜的影响
|
||||
|
今天看到一篇文献说溅射时，晶体（靶材）的密排面优先被溅射出来，但是只是概述，没有引文，也没说为什么，所以我想问问大家有没有人知道这个原理的？或者有相关的具体的文献的，能分享下不，感激不尽！ 另外，下面是我的一些理解 拿金来说吧，面心立方，密排面为111，按我的理解原则上密排面上原子排列紧密，原子间距为0.5*sqrt(a)，键能大，那么溅射时需要的能量不是更高吗？怎么能优先溅射？ 而且想的多了突然又想到键长、键能概念。面心立方中，Au有两种位置，一是边角位置，二是面心位置，那么（边角——边角）和（边角——面心）两者的核间距不一样，那么键能也应该是不一样的了，那么我们平时说的那个键长和键能又是什么？我感觉自己把自己绕进去了。。。。 或者是我哪里理解错了吗？ 而且按着这个思路继续发散下去的话，不同位置的Au被轰击出来时的能量就是不一样的，那么沉积的薄膜的性能不同，是这个道理吗？ [ Last edited by aujoniy on 2012-12-3 at 20:25 ] |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜材料和器件制备 |
» 猜你喜欢
材料与化工304求B区调剂
已经有7人回复
-
0703化学336分求调剂
已经有4人回复
-
[复试调剂]西南科技大学国防/材料导师推荐
已经有6人回复
-
化学工程321分求调剂
已经有12人回复
-
211本，11408一志愿中科院277分，曾在中科院自动化所实习
已经有4人回复
-
材料专硕326求调剂
已经有5人回复
-
东南大学364求调剂
已经有5人回复
-
国自科面上基金字体
已经有7人回复
-
药学383 求调剂
已经有4人回复
-
286求调剂
已经有5人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- HRTEM图晶面间距标法
已经有14人回复
- 求助：请问知道晶面指数和相应的d值怎么确定晶系呢？谢谢啦
已经有13人回复
- 能够从TEM晶格图片判断晶面吗？
已经有34人回复
- XRD图用布拉格方程计算晶面间距的θ
已经有4人回复
- 人工晶体方面，有哪些国外好发的EI和SCI？
已经有7人回复
- 分享一篇JACS新作，关于core/shell结构，晶面控制以及氮掺杂TiO2可见光催化
已经有44人回复
- 晶界薄膜（IGF）、晶界偏聚、晶界吸附、晶界完全润湿等方面的问题
已经有10人回复
- 热处理TiO2，高温时未出现金红石，但(101)晶面衍射峰强变弱是为什么？
已经有12人回复
- 请教如何做晶面，如（111）面问题
已经有5人回复
- 【求助】请教XRD只有1个衍射峰 纳米Ag，只有（111）晶面
已经有13人回复
- 请教：晶面表示的问题
已经有3人回复
- 磁控溅射镀膜，材料是多晶，XRD会不会出现晶面择优生长，或有的晶面不出现呢？
已经有7人回复
- diamond怎么画某些晶面裸露的多面体
已经有3人回复
- 【求助】为什么入射电子与衍射晶面之间的夹角并不精确满足布拉格条件时也能产生衍射
已经有5人回复
- 【请教】石英晶体不同晶面的结构问题
已经有9人回复
- 【请教】分析SAED谱，结果晶面指数为分数
已经有11人回复
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
山东征女友，坐标济南
+1/168
-
电力全国重点实验室双一流A类长江学者团队招2026年全日制博士1名（4月3日截止）
+2/150
-
深圳技术大学集成电路与光电芯片学院郝俊杰课题组诚聘博士后、研究助理、访问学生
+2/132
-
福建师范大学招收2026年化学、材料硕士3-4名
+1/78
-
生殖医学与子代健康全国重点实验室遗传学课题组招收研究生(长期有效)
+1/34
-
西安建筑科技大学，樊重庆课题组招收调剂研究生1名。
+2/24
-
Call for paper: Frontiers in Plant Science 中科院2区
+2/24
-
【预硕】【预博】青岛大学生物医药创新转化
+1/21
-
南京林业大学-国家级青年人才团队 招2026级申请考核制博士（合成化学、植物化学方向）
+1/17
-
上海交通大学药学院高杨课题组诚聘博士后
+1/14
-
南京医科大学-膜蛋白结构与功能课题组-招收2026级博士研究生
+1/12
-
哈尔滨理工大学材料与化学工程学院 纳米功能材料与光电催化团队 招收硕士研究生
+1/7
-
教育部长江学者和创新团队发展计划”入选团队招收 材料，化学与化工博士研究生
+1/7
-
华中科技大学管理学院招聘社会用工（科研助理）1名
+1/7
-
26年博士招生
+1/6
-
国家蛋白质科学中心(北京)-哈尔滨工业大学联合培养招收博士
+1/6
-
请问为什么我的贴子自动到“已删除的主题”里而没有被发布？
+1/5
-
海南大学徐月山老师招生第二批博士名额2~3个，2026年9月份入学（高端设备开发方向）
+1/2
-
天津师范大学有机合成课题组招收有机化学，化学工程调剂硕士
+1/2
-
欢迎报考浙江工业大学埃克塞特联合学院硕士研究生
+1/1
2楼2012-12-03 00:08:20
3楼2012-12-03 07:26:58
5楼2012-12-03 08:39:00
10楼2012-12-03 12:59:49
11楼2012-12-03 13:01:46
13楼2012-12-03 13:59:43
14楼2012-12-03 17:17:18
15楼2012-12-03 20:30:23
16楼2012-12-05 20:34:06
17楼2012-12-05 21:05:12
22楼2020-05-27 11:23:09
简单回复
gkf1234楼
2012-12-03 08:12
回复
aujoniy(金币+1): 谢谢参与
neu2346楼
2012-12-03 08:58
回复
aujoniy(金币+1): 谢谢参与
2012-12-03 09:04
回复
aujoniy(金币+1): 谢谢参与
2012-12-03 09:40
回复
aujoniy(金币+1): 谢谢参与
2012-12-03 10:30
回复
aujoniy(金币+1): 谢谢参与
樱木花道612楼
2012-12-03 13:37
回复
aujoniy(金币+1): 谢谢参与
蒋青松18楼
2012-12-05 22:02
回复
aujoniy(金币+1): 谢谢参与
似水流年12319楼
2012-12-06 18:01
回复
aujoniy(金币+1): 谢谢参与
su-b0820楼
2012-12-06 18:31
回复
aujoniy(金币+1): 谢谢参与
宗铭21楼
2012-12-06 20:38
回复
aujoniy(金币+1): 谢谢参与
