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yexyz

金虫 (正式写手)

[求助] CVD内压强问题

机械泵对管式炉进行抽真空,稳定后压力使400多Pa(系统密封不好),通入Ar气后,压力反而下降到300多Pa,这是怎么回事?
还有不抽真空,只通Ar气时,尾气管直接连通大气,炉内压力始终维持在400多Pa(我在炉管的出气口附近装了一个电阻真空计测得的)请问这又是怎么回事?
怎样控制炉内的压力,我尝试调节Ar气的流量发现对压力没有影响的。
不好意思,第一次接触这些东西,所以问题比较多,希望大家帮帮忙。
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gottlieb

金虫 (正式写手)


【答案】应助回帖

如果表坏了 氩气是多少都没用
如果表没坏 你通过的流量本身就没多大 弄个流量计测一下 或者数泡泡
9楼2012-10-07 11:24:33
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wulishi8

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
yexyz: 金币+5, 有帮助 2012-10-05 18:51:46
第一,先确定你的真空计检测的压强是否准确,我怀疑这个有问题(不是压力);
第二,将系统密封性做好,否则对实验影响非常大;你用机械泵抽到400Pa就下不去了(如果不是真空计不行了),那你的密封性得多差啊。
做完以上,如果还有问题,你再提问,我再和你讨论下一步吧。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

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2楼2012-09-30 01:52:02
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huagong2008

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
一,先确定你的真空计检测的压强是否准确,我怀疑这个有问题(不是压力);
第二,将系统密封性做好,否则对实验影响非常大;你用机械泵抽到400Pa就下不去了(如果不是真空计不行了),那你的密封性得多差啊。
做完以上,如果还有问题,你再提问,我再和你讨论下一步吧。
序幕已拉开,期待精彩。
3楼2012-09-30 02:28:49
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yexyz

金虫 (正式写手)

送鲜花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by wulishi8 at 2012-09-30 01:52:02
第一,先确定你的真空计检测的压强是否准确,我怀疑这个有问题(不是压力);
第二,将系统密封性做好,否则对实验影响非常大;你用机械泵抽到400Pa就下不去了(如果不是真空计不行了),那你的密封性得多差啊。
...

系统的密封性是很差,连接管道的各种接头太多了。我刚开始也是怀疑真空计有问题,后来把电阻规直接暴露在空气中,也能显示差不多一个大气压。有什么其他方法可以检查真空计是否有问题吗?
4楼2012-09-30 09:50:20
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