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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » CVD内压强问题
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yexyz

金虫 (正式写手)

[求助] CVD内压强问题

机械泵对管式炉进行抽真空，稳定后压力使400多Pa（系统密封不好），通入Ar气后，压力反而下降到300多Pa，这是怎么回事？
还有不抽真空，只通Ar气时，尾气管直接连通大气，炉内压力始终维持在400多Pa（我在炉管的出气口附近装了一个电阻真空计测得的）请问这又是怎么回事？
怎样控制炉内的压力,我尝试调节Ar气的流量发现对压力没有影响的。
不好意思，第一次接触这些东西，所以问题比较多，希望大家帮帮忙。
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1楼 2012-09-29 19:08:19
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huagong2008

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
一，先确定你的真空计检测的压强是否准确，我怀疑这个有问题（不是压力）；
第二，将系统密封性做好，否则对实验影响非常大；你用机械泵抽到400Pa就下不去了（如果不是真空计不行了），那你的密封性得多差啊。
做完以上，如果还有问题，你再提问，我再和你讨论下一步吧。
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序幕已拉开，期待精彩。
3楼2012-09-30 02:28:49
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wulishi8

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
yexyz: 金币+5, ★有帮助 2012-10-05 18:51:46
第一，先确定你的真空计检测的压强是否准确，我怀疑这个有问题（不是压力）；
第二，将系统密封性做好，否则对实验影响非常大；你用机械泵抽到400Pa就下不去了（如果不是真空计不行了），那你的密封性得多差啊。
做完以上，如果还有问题，你再提问，我再和你讨论下一步吧。
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yexyz
中山大学材料学院招聘博士后和专职研究员，年薪20万起，请站内联系，谢谢。
2楼2012-09-30 01:52:02
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yexyz

金虫 (正式写手)
送鲜花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by wulishi8 at 2012-09-30 01:52:02
第一，先确定你的真空计检测的压强是否准确，我怀疑这个有问题（不是压力）；
第二，将系统密封性做好，否则对实验影响非常大；你用机械泵抽到400Pa就下不去了（如果不是真空计不行了），那你的密封性得多差啊。
...

系统的密封性是很差，连接管道的各种接头太多了。我刚开始也是怀疑真空计有问题，后来把电阻规直接暴露在空气中，也能显示差不多一个大气压。有什么其他方法可以检查真空计是否有问题吗？
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4楼2012-09-30 09:50:20
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wulishi8

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

引用回帖:
4楼: Originally posted by yexyz at 2012-09-30 09:50:20
系统的密封性是很差，连接管道的各种接头太多了。我刚开始也是怀疑真空计有问题，后来把电阻规直接暴露在空气中，也能显示差不多一个大气压。有什么其他方法可以检查真空计是否有问题吗？...

不做好密封，谈别的还尚早啊。
你是没见过我用的CVD，那个接头几十个是有的，照样抽到10-8mbar。用不锈钢的接头，一个个用酒精检查密封性吧。
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中山大学材料学院招聘博士后和专职研究员，年薪20万起，请站内联系，谢谢。
6楼2012-10-05 19:56:03
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