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CVD内压强问题
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机械泵对管式炉进行抽真空，稳定后压力使400多Pa（系统密封不好），通入Ar气后，压力反而下降到300多Pa，这是怎么回事？ 还有不抽真空，只通Ar气时，尾气管直接连通大气，炉内压力始终维持在400多Pa（我在炉管的出气口附近装了一个电阻真空计测得的）请问这又是怎么回事？ 怎样控制炉内的压力,我尝试调节Ar气的流量发现对压力没有影响的。 不好意思，第一次接触这些东西，所以问题比较多，希望大家帮帮忙。 |
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