24小时热门版块排行榜    

查看: 3314  |  回复: 11
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

雨过天晴57

木虫 (初入文坛)

[求助] 硅 湿法刻蚀 掩膜

各位师兄师姐好,请问硅湿法刻蚀40微米深,用哪种材料做掩膜比较结实,不宜被腐蚀掉,谢谢,如果有,请提供刻蚀方法,我会追加金币的。
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

纳米制备

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

光刻胶一定时间内耐磷酸,也耐HF。HF腐蚀SiN和Si的速度远远低于腐蚀SiO。
腐蚀的时间需要实验,一般来说看颜色,看台阶。实在不行多泡一会儿,肯定腐蚀掉了。这套工艺是不怕过腐蚀的,选择比都很高。
8楼2012-10-10 18:04:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
标准的是SiO+SiN,先长氧化硅,要热氧的,然后再做LPCVD的SiN。主要起作用的是SiN,厚度要看你能找到的加工的水平,怎么也要3000A吧。腐蚀的方法很简单,KOH浓溶液加热到80度,速率自己摸。如果超净间不许进KOH,那就用25%的TMAH。

其实如果你做的片子少,就没必要用腐蚀,因为LPCVD很贵的。我倒建议直接用光刻胶做掩蔽层,做ICP刻蚀,这样侧壁还陡直。
2楼2012-09-28 19:36:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

雨过天晴57

木虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2012-09-28 19:36:33
标准的是SiO+SiN,先长氧化硅,要热氧的,然后再做LPCVD的SiN。主要起作用的是SiN,厚度要看你能找到的加工的水平,怎么也要3000A吧。腐蚀的方法很简单,KOH浓溶液加热到80度,速率自己摸。如果超净间不许进KOH,那 ...

多谢啦!
3楼2012-10-04 21:40:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

雨过天晴57

木虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2012-09-28 19:36:33
标准的是SiO+SiN,先长氧化硅,要热氧的,然后再做LPCVD的SiN。主要起作用的是SiN,厚度要看你能找到的加工的水平,怎么也要3000A吧。腐蚀的方法很简单,KOH浓溶液加热到80度,速率自己摸。如果超净间不许进KOH,那 ...

再问一下,如果先长氧化硅,再氮化硅,光刻后该选择哪种方式将图案转移到这两层掩膜(也就是该怎么刻蚀这两种掩膜),才能进行最后KOH刻蚀硅。
4楼2012-10-04 21:46:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[教师之家] 为什么余额宝的年化利率越来越低?主要原因有哪些? +4 瞬息宇宙 2026-08-15 4/200 2026-08-19 16:23 by allmydream
[基金申请] filecode,4个jtjc了 +8 ziyangfang 2026-08-19 9/450 2026-08-19 13:08 by blacksandy
[基金申请] 今天基金会出结果吗?20260819 +8 kkkl_v 2026-08-19 8/400 2026-08-19 12:34 by Vivilian
[基金申请] 欢迎发来filecode的Mz6后的代码验证其规律 +52 医学老男孩 2026-08-13 115/5750 2026-08-19 12:09 by 医学老男孩
[基金申请] 2027广东省杰青 +4 奶牛小黑 2026-08-15 10/500 2026-08-19 11:02 by wanfengnew
[基金申请] 朋友圈看到的 +6 wangzilk 2026-08-18 8/400 2026-08-19 10:55 by Haru815
[基金申请] 时间戳变了,能看出什么问题? +10 基诺咪客 2026-08-17 14/700 2026-08-19 10:34 by 基诺咪客
[基金申请] 咱们一起用铁证分析2026国家社科基金中标与否 +8 启萌科技 2026-08-12 30/1500 2026-08-19 10:22 by 启萌科技
[基金申请] 快农历七夕节了,轻松一下,男人悄悄话,女施主请不要进来。 +6 Tide man 2026-08-14 7/350 2026-08-19 09:56 by ZJTJZ
[基金申请] 什么时候开奖? +6 CrisMessi 2026-08-18 6/300 2026-08-19 08:06 by Equinoxhua
[基金申请] 重要消息,中午系统在维护 +10 yuleib84 2026-08-18 11/550 2026-08-19 07:30 by 羽毛枫f
[基金申请] 明天放榜? +5 Shxjjxjkx 2026-08-18 5/250 2026-08-18 18:14 by -大大大大大-
[论文投稿] 投稿咨询 +4 wwm09 2026-08-17 6/300 2026-08-18 15:36 by wwm09
[基金申请] 今天维护系统维护 祝所有人 高中 +8 gjjjzhong 2026-08-18 9/450 2026-08-18 13:01 by 家与远方
[基金申请] 哪位老哥知道今年的国自然具体哪一天放榜? +13 Ldrop2023 2026-08-13 16/800 2026-08-18 12:25 by 淀粉搬运工
[基金申请] 93BebMhtakh前后11位开头都是大写 +4 且听虎啸 2026-08-17 5/250 2026-08-18 00:49 by 蔡棒棒菂
[基金申请] 感觉是下周放榜了 +6 angus9576 2026-08-17 11/550 2026-08-17 23:57 by angus9576
[基金申请] filecode=后面第一个是大写字母 +8 wangze12014 2026-08-14 10/500 2026-08-17 17:05 by xter9665
[精细化工] 招聘 金属平磨液,抛光液研发工程师 +3 小天0311 2026-08-14 3/150 2026-08-16 07:31 by H9PLUS
[基金申请] 重要来源:本周末出结果 +10 瞬息宇宙 2026-08-12 10/500 2026-08-13 15:46 by likettle
信息提示
请填处理意见