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[交流]
最近镀Pt时遇到一个很诡异的问题，大家来讨论下！
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我用SEM附带的溅射仪镀了大概300多纳米的Pt，用四探针测了一下方阻，居然高达800多欧姆，然后我又在450度烧了一下，拿出来测了下，方阻到1500欧姆了，我用EDS打了一下，是Pt没错，但是方阻为什么那么大呢，薄膜很平整，很致密。 Pt膜从外观上有点发黄，镀厚了也是银白色，我搞不懂了，太诡异了，有人遇到同样的问题吗？ |
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2楼2012-09-17 13:48:40
3楼2012-09-17 14:25:40
4楼2012-09-17 17:51:32
7楼2012-09-17 19:00:48
8楼2012-09-17 19:09:55
10楼2012-09-17 19:52:04
12楼2012-09-17 21:55:41
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14楼2012-09-18 00:23:00
16楼2012-09-18 09:16:36
18楼2012-09-18 10:12:59
19楼2012-09-18 15:29:30
21楼2012-09-19 10:43:52
22楼2012-09-19 10:44:25
23楼2012-09-19 12:29:33
24楼2012-09-19 17:29:21
25楼2012-09-28 17:41:48
26楼2018-01-17 12:14:27
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xachenxi5楼
2012-09-17 18:30
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basa196楼
2012-09-17 18:50
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2012-09-17 19:14
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chenruia11楼
2012-09-17 20:30
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sunwh_cool15楼
2012-09-18 08:30
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李山19892417楼
2012-09-18 09:57
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nzh701020楼
2012-09-19 07:51
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