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最近镀Pt时遇到一个很诡异的问题,大家来讨论下!
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coolingfire
金虫
(小有名气)
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(幼儿园)
金币: 7
帖子: 81
在线: 108.4小时
虫号: 1204568
[交流]
最近镀Pt时遇到一个很诡异的问题,大家来讨论下!
我用SEM附带的溅射仪镀了大概300多纳米的Pt,用四探针测了一下方阻,居然高达800多欧姆,然后我又在450度烧了一下,拿出来测了下,方阻到1500欧姆了,我用EDS打了一下,是Pt没错,但是方阻为什么那么大呢,薄膜很平整,很致密。
Pt膜从外观上有点发黄,镀厚了也是银白色,我搞不懂了,太诡异了,有人遇到同样的问题吗?
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2012-09-17 12:40:33
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木虫
(正式写手)
应助: 0
(幼儿园)
金币: 2825.7
帖子: 335
在线: 506.3小时
虫号: 480341
★
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
氧化了?
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13楼
2012-09-17 22:26:55
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