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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 最近镀Pt时遇到一个很诡异的问题，大家来讨论下！
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coolingfire

金虫 (小有名气)

[交流] 最近镀Pt时遇到一个很诡异的问题，大家来讨论下！

我用SEM附带的溅射仪镀了大概300多纳米的Pt，用四探针测了一下方阻，居然高达800多欧姆，然后我又在450度烧了一下，拿出来测了下，方阻到1500欧姆了，我用EDS打了一下，是Pt没错，但是方阻为什么那么大呢，薄膜很平整，很致密。
Pt膜从外观上有点发黄，镀厚了也是银白色，我搞不懂了，太诡异了，有人遇到同样的问题吗？
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1楼 2012-09-17 12:40:33
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dafeng001

木虫 (职业作家)
★ ★
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-09-18 07:50:49
基底导不导电呢？四探针对厚度有要求，不知道300nm会不会太薄所以导致？ 权当是抛装引玉吧
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2楼2012-09-17 13:48:40
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
★
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
2楼: Originally posted by dafeng001 at 2012-09-17 14:48:40
基底导不导电呢？四探针对厚度有要求，不知道300nm会不会太薄所以导致？ 权当是抛装引玉吧

我也觉得是
如果不是很平整，电阻会很高，或者，镀上去的Pt杂志含量比较多。
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3楼2012-09-17 14:25:40
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scarecrow143

至尊木虫 (著名写手)
★
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
帮顶
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4楼2012-09-17 17:51:32
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wu1008

金虫 (著名写手)
★
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
2楼: Originally posted by dafeng001 at 2012-09-17 13:48:40
基底导不导电呢？四探针对厚度有要求，不知道300nm会不会太薄所以导致？ 权当是抛装引玉吧

300 nm 不薄了，买回来的一般以就是100 nm

没遇到过，我们自己镀的话，电阻一般都很小。

帮你顶一下
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7楼2012-09-17 19:00:48
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userhung

禁虫 (文学泰斗)
★
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
基底是什么？是否也会有影响？
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8楼2012-09-17 19:09:55
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mlanqiang

木虫之王 (文学泰斗)
★
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
电阻不应该高啊。
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10楼2012-09-17 19:52:04
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君临天下fd

新虫 (初入文坛)
★
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
顶个，希望楼主尽快找到原因
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12楼2012-09-17 21:55:41
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yylltt

木虫 (正式写手)
★
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
氧化了？
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13楼2012-09-17 22:26:55
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gcworm

木虫 (职业作家)
★
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
路过，帮你顶一下
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14楼2012-09-18 00:23:00
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scarecrow143

至尊木虫 (著名写手)
帮顶
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16楼2012-09-18 09:16:36
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shining1989

新虫 (初入文坛)
★
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
是不是氧化了。。。
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18楼2012-09-18 10:12:59
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bazhuayuyu

木虫 (著名写手)
★
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
按照你的描述我觉得你的膜肯定没有300nm
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19楼2012-09-18 15:29:30
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coolingfire

金虫 (小有名气)
引用回帖:
19楼: Originally posted by bazhuayuyu at 2012-09-18 15:29:30
按照你的描述我觉得你的膜肯定没有300nm

SEM测得的膜厚是380纳米，基底是钠钙玻璃。
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21楼2012-09-19 10:43:52
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coolingfire

金虫 (小有名气)
引用回帖:
18楼: Originally posted by shining1989 at 2012-09-18 10:12:59
是不是氧化了。。。

Pt氧化吗？不会吧，Pt很稳定的。
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22楼2012-09-19 10:44:25
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bazhuayuyu

木虫 (著名写手)
引用回帖:
21楼: Originally posted by coolingfire at 2012-09-19 10:43:52
SEM测得的膜厚是380纳米，基底是钠钙玻璃。...

那就太诡异了  我也对原因很感兴趣
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23楼2012-09-19 12:29:33
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
分别再用万用表和探针台测一下。
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24楼2012-09-19 17:29:21
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xlys-forever

木虫 (著名写手)
★
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
2楼: Originally posted by dafeng001 at 2012-09-17 13:48:40
基底导不导电呢？四探针对厚度有要求，不知道300nm会不会太薄所以导致？ 权当是抛装引玉吧

四探针测试对基体也有要求，薄膜300nm厚应该没有问题。
退火过程中是不是氧化了，或者膜与基体元素扩散了。
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25楼2012-09-28 17:41:48
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Dongdeduoa

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
300nm超过了趋服深度 电阻不应该这么大了 有可能是电压加高打穿了

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26楼2018-01-17 12:14:27
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xachenxi5楼
2012-09-17 18:30   回复  
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
basa196楼
2012-09-17 18:50   回复  
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
liyangsoton9楼
2012-09-17 19:14   回复  
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
chenruia11楼
2012-09-17 20:30   回复  
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
sunwh_cool15楼
2012-09-18 08:30   回复  
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
李山19892417楼
2012-09-18 09:57   回复  
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
nzh701020楼
2012-09-19 07:51   回复  
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
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