应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 最近镀Pt时遇到一个很诡异的问题，大家来讨论下！
261/1返回列表
查看: 2883  |  回复: 25
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

coolingfire

金虫 (小有名气)

[交流] 最近镀Pt时遇到一个很诡异的问题，大家来讨论下！

我用SEM附带的溅射仪镀了大概300多纳米的Pt，用四探针测了一下方阻，居然高达800多欧姆，然后我又在450度烧了一下，拿出来测了下，方阻到1500欧姆了，我用EDS打了一下，是Pt没错，但是方阻为什么那么大呢，薄膜很平整，很致密。
Pt膜从外观上有点发黄，镀厚了也是银白色，我搞不懂了，太诡异了，有人遇到同样的问题吗？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2012-09-17 12:40:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dafeng001

木虫 (职业作家)
★ ★
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-09-18 07:50:49
基底导不导电呢？四探针对厚度有要求，不知道300nm会不会太薄所以导致？ 权当是抛装引玉吧
赞一下 回复此楼
2楼2012-09-17 13:48:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wbcui

至尊木虫 (知名作家)
★
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
2楼: Originally posted by dafeng001 at 2012-09-17 14:48:40
基底导不导电呢？四探针对厚度有要求，不知道300nm会不会太薄所以导致？ 权当是抛装引玉吧

我也觉得是
如果不是很平整，电阻会很高，或者，镀上去的Pt杂志含量比较多。
赞一下 回复此楼
3楼2012-09-17 14:25:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

scarecrow143

至尊木虫 (著名写手)
★
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
帮顶
回复此楼
4楼2012-09-17 17:51:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wu1008

金虫 (著名写手)
★
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
2楼: Originally posted by dafeng001 at 2012-09-17 13:48:40
基底导不导电呢？四探针对厚度有要求，不知道300nm会不会太薄所以导致？ 权当是抛装引玉吧

300 nm 不薄了，买回来的一般以就是100 nm

没遇到过，我们自己镀的话，电阻一般都很小。

帮你顶一下
赞一下 回复此楼
7楼2012-09-17 19:00:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

userhung

禁虫 (文学泰斗)
★
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
基底是什么？是否也会有影响？
赞一下 回复此楼
8楼2012-09-17 19:09:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mlanqiang

木虫之王 (文学泰斗)
★
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
电阻不应该高啊。
回复此楼
10楼2012-09-17 19:52:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

君临天下fd

新虫 (初入文坛)
★
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
顶个，希望楼主尽快找到原因
赞一下 回复此楼
12楼2012-09-17 21:55:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yylltt

木虫 (正式写手)
★
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
氧化了？
回复此楼
13楼2012-09-17 22:26:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gcworm

木虫 (职业作家)
★
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
路过，帮你顶一下
回复此楼
14楼2012-09-18 00:23:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

scarecrow143

至尊木虫 (著名写手)
帮顶
回复此楼
16楼2012-09-18 09:16:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

shining1989

新虫 (初入文坛)
★
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
是不是氧化了。。。
回复此楼
18楼2012-09-18 10:12:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bazhuayuyu

木虫 (著名写手)
★
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
按照你的描述我觉得你的膜肯定没有300nm
赞一下 回复此楼
19楼2012-09-18 15:29:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

coolingfire

金虫 (小有名气)
引用回帖:
19楼: Originally posted by bazhuayuyu at 2012-09-18 15:29:30
按照你的描述我觉得你的膜肯定没有300nm

SEM测得的膜厚是380纳米，基底是钠钙玻璃。
赞一下 回复此楼
21楼2012-09-19 10:43:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

coolingfire

金虫 (小有名气)
引用回帖:
18楼: Originally posted by shining1989 at 2012-09-18 10:12:59
是不是氧化了。。。

Pt氧化吗？不会吧，Pt很稳定的。
赞一下 回复此楼
22楼2012-09-19 10:44:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bazhuayuyu

木虫 (著名写手)
引用回帖:
21楼: Originally posted by coolingfire at 2012-09-19 10:43:52
SEM测得的膜厚是380纳米，基底是钠钙玻璃。...

那就太诡异了  我也对原因很感兴趣
赞一下 回复此楼
23楼2012-09-19 12:29:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
分别再用万用表和探针台测一下。
赞一下 回复此楼
24楼2012-09-19 17:29:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xlys-forever

木虫 (著名写手)
★
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
2楼: Originally posted by dafeng001 at 2012-09-17 13:48:40
基底导不导电呢？四探针对厚度有要求，不知道300nm会不会太薄所以导致？ 权当是抛装引玉吧

四探针测试对基体也有要求，薄膜300nm厚应该没有问题。
退火过程中是不是氧化了，或者膜与基体元素扩散了。
赞一下 回复此楼
25楼2012-09-28 17:41:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Dongdeduoa

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
300nm超过了趋服深度 电阻不应该这么大了 有可能是电压加高打穿了

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
26楼2018-01-17 12:14:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
xachenxi5楼
2012-09-17 18:30   回复  
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
basa196楼
2012-09-17 18:50   回复  
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
liyangsoton9楼
2012-09-17 19:14   回复  
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
chenruia11楼
2012-09-17 20:30   回复  
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
sunwh_cool15楼
2012-09-18 08:30   回复  
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
李山19892417楼
2012-09-18 09:57   回复  
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
nzh701020楼
2012-09-19 07:51   回复  
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
相关版块跳转 我要订阅楼主 coolingfire 的主题更新
261/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料学硕318求调剂 +5 February_Feb 2026-03-01 5/250 2026-03-01 23:31 by L135790
[考研] 0856调剂 +5 刘梦微 2026-02-28 5/250 2026-03-01 22:30 by wang_dand
[硕博家园] 博士自荐 +7 科研狗111 2026-02-26 11/550 2026-03-01 22:24 by 哲平L
[考研] 26考研报考西工大材料308分求调剂 +3 weizhong123 2026-03-01 3/150 2026-03-01 21:42 by 公瑾逍遥
[考研] 272求调剂 +6 田智友 2026-02-28 6/300 2026-03-01 21:40 by 公瑾逍遥
[考研] 272求调剂 +6 材紫有化 2026-02-28 6/300 2026-03-01 18:58 by 18137688336
[考研] 0857调剂 +3 一ll半 2026-02-28 3/150 2026-03-01 18:32 by 热情沙漠
[考研] 材料学调剂 +9 提神豆沙包 2026-02-28 11/550 2026-03-01 18:15 by ms629
[考博] 26申博 +4 想申博！ 2026-02-26 6/300 2026-03-01 17:32 by 想申博！
[考研] 321求调剂一志愿东北林业大学材料与化工英二数二 +4 虫虫虫虫虫7 2026-03-01 7/350 2026-03-01 16:52 by caszguilin
[考研] 285求调剂 +8 满头大汗的学生 2026-02-28 8/400 2026-03-01 16:47 by caszguilin
[考研] 313求调剂 +3 水流年lc 2026-02-28 3/150 2026-03-01 16:01 by 新能源达人
[考研] 材料工程274求调剂 +3 Lilithan 2026-03-01 3/150 2026-03-01 14:58 by ms629
[考研] 求调剂 +6 repeatt?t 2026-02-28 6/300 2026-03-01 14:37 by Sakura绘
[考研] 298求调剂 +9 人间唯你是清欢 2026-02-28 12/600 2026-03-01 14:23 by Ducount.Y
[考研] 317一志愿华南理工电气工程求调剂 +6 Soliloquy_Q 2026-02-28 11/550 2026-03-01 11:14 by 歌liekkas
[考研] 311求调剂 +9 南迦720 2026-02-28 10/500 2026-03-01 10:55 by sunny81
[考研] 材料调剂 +4 爱擦汗的可乐冰 2026-02-28 4/200 2026-03-01 00:38 by 猫猫球alter
[考研] 085600材料工程一志愿中科大总分312求调剂 +8 吃宵夜1 2026-02-28 10/500 2026-02-28 20:27 by L135790
[高分子] 求环氧树脂研发1名 +3 孙xc 2026-02-25 11/550 2026-02-28 16:57 by ichall
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭