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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 最近镀Pt时遇到一个很诡异的问题，大家来讨论下！
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coolingfire

金虫 (小有名气)

[交流] 最近镀Pt时遇到一个很诡异的问题，大家来讨论下！

我用SEM附带的溅射仪镀了大概300多纳米的Pt，用四探针测了一下方阻，居然高达800多欧姆，然后我又在450度烧了一下，拿出来测了下，方阻到1500欧姆了，我用EDS打了一下，是Pt没错，但是方阻为什么那么大呢，薄膜很平整，很致密。
Pt膜从外观上有点发黄，镀厚了也是银白色，我搞不懂了，太诡异了，有人遇到同样的问题吗？
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1楼 2012-09-17 12:40:33
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bazhuayuyu

木虫 (著名写手)
★
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
按照你的描述我觉得你的膜肯定没有300nm
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19楼2012-09-18 15:29:30
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bazhuayuyu

木虫 (著名写手)
引用回帖:
21楼: Originally posted by coolingfire at 2012-09-19 10:43:52
SEM测得的膜厚是380纳米，基底是钠钙玻璃。...

那就太诡异了  我也对原因很感兴趣
赞一下 回复此楼
23楼2012-09-19 12:29:33
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