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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 最近镀Pt时遇到一个很诡异的问题，大家来讨论下！
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coolingfire

金虫 (小有名气)

[交流] 最近镀Pt时遇到一个很诡异的问题，大家来讨论下！

我用SEM附带的溅射仪镀了大概300多纳米的Pt，用四探针测了一下方阻，居然高达800多欧姆，然后我又在450度烧了一下，拿出来测了下，方阻到1500欧姆了，我用EDS打了一下，是Pt没错，但是方阻为什么那么大呢，薄膜很平整，很致密。
Pt膜从外观上有点发黄，镀厚了也是银白色，我搞不懂了，太诡异了，有人遇到同样的问题吗？
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1楼 2012-09-17 12:40:33
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xlys-forever

木虫 (著名写手)
★
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
2楼: Originally posted by dafeng001 at 2012-09-17 13:48:40
基底导不导电呢？四探针对厚度有要求，不知道300nm会不会太薄所以导致？ 权当是抛装引玉吧

四探针测试对基体也有要求，薄膜300nm厚应该没有问题。
退火过程中是不是氧化了，或者膜与基体元素扩散了。
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25楼2012-09-28 17:41:48
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dafeng001

木虫 (职业作家)
★ ★
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-09-18 07:50:49
基底导不导电呢？四探针对厚度有要求，不知道300nm会不会太薄所以导致？ 权当是抛装引玉吧
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2楼2012-09-17 13:48:40
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
★
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
2楼: Originally posted by dafeng001 at 2012-09-17 14:48:40
基底导不导电呢？四探针对厚度有要求，不知道300nm会不会太薄所以导致？ 权当是抛装引玉吧

我也觉得是
如果不是很平整，电阻会很高，或者，镀上去的Pt杂志含量比较多。
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3楼2012-09-17 14:25:40
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wu1008

金虫 (著名写手)
★
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
2楼: Originally posted by dafeng001 at 2012-09-17 13:48:40
基底导不导电呢？四探针对厚度有要求，不知道300nm会不会太薄所以导致？ 权当是抛装引玉吧

300 nm 不薄了，买回来的一般以就是100 nm

没遇到过，我们自己镀的话，电阻一般都很小。

帮你顶一下
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7楼2012-09-17 19:00:48
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