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[交流]
最近镀Pt时遇到一个很诡异的问题，大家来讨论下！
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我用SEM附带的溅射仪镀了大概300多纳米的Pt，用四探针测了一下方阻，居然高达800多欧姆，然后我又在450度烧了一下，拿出来测了下，方阻到1500欧姆了，我用EDS打了一下，是Pt没错，但是方阻为什么那么大呢，薄膜很平整，很致密。 Pt膜从外观上有点发黄，镀厚了也是银白色，我搞不懂了，太诡异了，有人遇到同样的问题吗？ |
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10楼2012-09-17 19:52:04
2楼2012-09-17 13:48:40
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7楼2012-09-17 19:00:48