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coolingfire

金虫 (小有名气)


[交流] 最近镀Pt时遇到一个很诡异的问题,大家来讨论下!

我用SEM附带的溅射仪镀了大概300多纳米的Pt,用四探针测了一下方阻,居然高达800多欧姆,然后我又在450度烧了一下,拿出来测了下,方阻到1500欧姆了,我用EDS打了一下,是Pt没错,但是方阻为什么那么大呢,薄膜很平整,很致密。
Pt膜从外观上有点发黄,镀厚了也是银白色,我搞不懂了,太诡异了,有人遇到同样的问题吗?
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coolingfire

金虫 (小有名气)


引用回帖:
18楼: Originally posted by shining1989 at 2012-09-18 10:12:59
是不是氧化了。。。

Pt氧化吗?不会吧,Pt很稳定的。
22楼2012-09-19 10:44:25
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dafeng001

木虫 (职业作家)


★ ★
coolingfire(金币+1): 谢谢参与
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-09-18 07:50:49
基底导不导电呢?四探针对厚度有要求,不知道300nm会不会太薄所以导致? 权当是抛装引玉吧
2楼2012-09-17 13:48:40
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coolingfire(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
2楼: Originally posted by dafeng001 at 2012-09-17 14:48:40
基底导不导电呢?四探针对厚度有要求,不知道300nm会不会太薄所以导致? 权当是抛装引玉吧

我也觉得是
如果不是很平整,电阻会很高,或者,镀上去的Pt杂志含量比较多。
3楼2012-09-17 14:25:40
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wu1008

金虫 (著名写手)



coolingfire(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
2楼: Originally posted by dafeng001 at 2012-09-17 13:48:40
基底导不导电呢?四探针对厚度有要求,不知道300nm会不会太薄所以导致? 权当是抛装引玉吧

300 nm 不薄了,买回来的一般以就是100 nm

没遇到过,我们自己镀的话,电阻一般都很小。

帮你顶一下
7楼2012-09-17 19:00:48
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