24小时热门版块排行榜    

查看: 2183  |  回复: 12
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

shucaijing

铜虫 (正式写手)

[求助] 如何在硅片上长300nm的Si02层

如何在硅片上长300nm的Si02层?我们组有真空镀膜机 但需要很高的温度 且时间长 我用其他的什么方法可以得到那?
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

Comeon,Baby!!!
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mosleo

捐助贵宾 (小有名气)


【答案】应助回帖

一般用热氧化法生长,不主张用溅射方法生长氧化硅层,会有非化学计量产物。
5楼2012-09-02 01:25:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 13 个回答

dwysd

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-08-25 08:43:58
shucaijing: 金币+3, ★★★很有帮助, 谢谢你的建议 2012-08-29 09:07:48
一般而言,如果用单质Si作为溅射靶材,Ar/O2作为溅射气体/反应气体,用一般的磁控溅射方法就可以制备SiO2薄膜,沉积速率视靶材大小和溅射功率的大小而定,但只制备300nm厚的SiO2薄膜,不会要太长时间。我曾经用该方法制备过微米级的SiO2薄膜,也就是几个小时而已。
2楼2012-08-24 19:56:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bazhuayuyu

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
shucaijing: 金币+1, 有帮助, 谢谢你的建议 2012-08-29 09:08:22
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-09-02 09:07:00
你的真空镀膜机指的是溅射吗?除了热氧化,长SiO2最常用的还是射频反应溅射和PECVD,这两种温度都不高
3楼2012-08-25 17:14:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dzcl11

铜虫 (小有名气)


【答案】应助回帖


蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-09-02 09:07:14
硅片上生长二氧化硅一般有两种方法:PECVD和热氧化法
4楼2012-09-01 14:37:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 268求调剂 +3 简单点0 2026-03-17 3/150 2026-03-17 23:15 by wangjihu
[考研] 303求调剂 +3 睿08 2026-03-17 5/250 2026-03-17 22:01 by 睿08
[考研] 341求调剂 +5 捣蛋猪猪 2026-03-11 7/350 2026-03-17 19:09 by 捣蛋猪猪
[考研] 344求调剂 +4 knight344 2026-03-16 4/200 2026-03-17 17:27 by ruiyingmiao
[考研] 271求调剂 +12 生如夏花… 2026-03-11 14/700 2026-03-17 10:56 by lovewei0727
[考研] 275求调剂 +4 太阳花天天开心 2026-03-16 4/200 2026-03-17 10:53 by 功夫疯狂
[考研] 274求调剂 +5 时间点 2026-03-13 5/250 2026-03-17 07:34 by 热情沙漠
[考研] 311求调剂 +5 26研0 2026-03-15 5/250 2026-03-16 16:21 by a不易
[考研] 070303一志愿西北大学学硕310找调剂 +5 d如愿上岸 2026-03-12 8/400 2026-03-16 15:19 by peike
[考研] 327求调剂 +6 拾光任染 2026-03-15 11/550 2026-03-15 22:47 by 拾光任染
[考研] 复试调剂 +4 z1z2z3879 2026-03-14 5/250 2026-03-14 16:30 by JourneyLucky
[考研] 297求调剂 +4 学海漂泊 2026-03-13 4/200 2026-03-14 11:51 by 热情沙漠
[考研] 材料与化工(0856)304求B区调剂 +6 邱gl 2026-03-12 7/350 2026-03-13 23:24 by 邱gl
[考研] 材料工程调剂 +9 咪咪空空 2026-03-12 9/450 2026-03-13 22:05 by 星空星月
[考研] 315求调剂 +9 小羊小羊_ 2026-03-11 10/500 2026-03-13 21:13 by SXNU李老师
[考研] 求调剂 +5 一定有学上- 2026-03-12 5/250 2026-03-13 18:31 by ms629
[考研] 工科278分求调剂 +5 周慢热啊 2026-03-12 7/350 2026-03-13 15:49 by JourneyLucky
[考研] 工科调剂 +4 Jiang191123! 2026-03-11 4/200 2026-03-13 15:15 by Miko19
[考研] 289求调剂 +3 李政莹 2026-03-12 3/150 2026-03-13 11:02 by 求调剂zz
[考博] 26读博 +4 Rui135246 2026-03-12 10/500 2026-03-13 07:15 by gaobiao
信息提示
请填处理意见