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shucaijing

铜虫 (正式写手)

[求助] 如何在硅片上长300nm的Si02层

如何在硅片上长300nm的Si02层?我们组有真空镀膜机 但需要很高的温度 且时间长 我用其他的什么方法可以得到那?
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Comeon,Baby!!!
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mosleo

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【答案】应助回帖

一般用热氧化法生长,不主张用溅射方法生长氧化硅层,会有非化学计量产物。
5楼2012-09-02 01:25:02
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