24小时热门版块排行榜    

查看: 2189  |  回复: 12
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

shucaijing

铜虫 (正式写手)

[求助] 如何在硅片上长300nm的Si02层

如何在硅片上长300nm的Si02层?我们组有真空镀膜机 但需要很高的温度 且时间长 我用其他的什么方法可以得到那?
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

Comeon,Baby!!!
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bazhuayuyu

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
shucaijing: 金币+1, 有帮助, 谢谢你的建议 2012-08-29 09:08:22
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-09-02 09:07:00
你的真空镀膜机指的是溅射吗?除了热氧化,长SiO2最常用的还是射频反应溅射和PECVD,这两种温度都不高
3楼2012-08-25 17:14:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 13 个回答

dwysd

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-08-25 08:43:58
shucaijing: 金币+3, ★★★很有帮助, 谢谢你的建议 2012-08-29 09:07:48
一般而言,如果用单质Si作为溅射靶材,Ar/O2作为溅射气体/反应气体,用一般的磁控溅射方法就可以制备SiO2薄膜,沉积速率视靶材大小和溅射功率的大小而定,但只制备300nm厚的SiO2薄膜,不会要太长时间。我曾经用该方法制备过微米级的SiO2薄膜,也就是几个小时而已。
2楼2012-08-24 19:56:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dzcl11

铜虫 (小有名气)


【答案】应助回帖


蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-09-02 09:07:14
硅片上生长二氧化硅一般有两种方法:PECVD和热氧化法
4楼2012-09-01 14:37:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mosleo

捐助贵宾 (小有名气)


【答案】应助回帖

一般用热氧化法生长,不主张用溅射方法生长氧化硅层,会有非化学计量产物。
5楼2012-09-02 01:25:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 0703化学调剂 +3 18889395102 2026-03-18 3/150 2026-03-19 13:53 by houyaoxu
[考研] 085600材料与化工求调剂 +6 绪幸与子 2026-03-17 6/300 2026-03-19 13:27 by houyaoxu
[教师之家] 焦虑 +9 水冰月月野兔 2026-03-13 13/650 2026-03-19 09:50 by otani
[考研] 274求调剂 +6 S.H1 2026-03-18 6/300 2026-03-19 09:34 by 花店相见
[考研] 330求调剂 +3 小材化本科 2026-03-18 3/150 2026-03-18 21:55 by 无懈可击111
[考研] 08工科 320总分 求调剂 +5 梨花珞晚风 2026-03-17 5/250 2026-03-18 14:49 by haxia
[考研] 303求调剂 +4 睿08 2026-03-17 6/300 2026-03-18 11:01 by Iveryant
[考研] 工科材料085601 279求调剂 +6 困于星晨 2026-03-17 6/300 2026-03-18 10:21 by kkcoco25
[考研] 268求调剂 +6 简单点0 2026-03-17 6/300 2026-03-18 09:04 by 无际的草原
[考研] 268求调剂 +8 一定有学上- 2026-03-14 9/450 2026-03-17 17:47 by laoshidan
[考研] 考研化学学硕调剂,一志愿985 +4 张vvvv 2026-03-15 6/300 2026-03-17 17:15 by ruiyingmiao
[考研] 211本,11408一志愿中科院277分,曾在中科院自动化所实习 +6 Losir 2026-03-12 7/350 2026-03-17 12:09 by danranxie
[考研] 283求调剂 +3 听风就是雨; 2026-03-16 3/150 2026-03-17 07:41 by 热情沙漠
[考研] 22408总分284求调剂 +3 InAspic 2026-03-13 3/150 2026-03-15 11:10 by zhq0425
[考研] 289求调剂 +4 这么名字咋样 2026-03-14 6/300 2026-03-14 18:58 by userper
[考研] 330求调剂 +3 ?酱给调剂跪了 2026-03-13 3/150 2026-03-14 10:13 by JourneyLucky
[考研] 求材料调剂 085600英一数二总分302 前三科235 精通机器学习 一志愿哈工大 +4 林yaxin 2026-03-12 4/200 2026-03-13 22:04 by 星空星月
[考研] 材料301分求调剂 +5 Liyouyumairs 2026-03-12 5/250 2026-03-13 14:42 by JourneyLucky
[考研] 289求调剂 +3 李政莹 2026-03-12 3/150 2026-03-13 11:02 by 求调剂zz
[考研] 290求调剂 +3 ADT 2026-03-13 3/150 2026-03-13 10:19 by peike
信息提示
请填处理意见