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URHX5454

金虫 (小有名气)

[求助] 求各种金属元素,化合物的溅射系数,十分感谢

那位高手有关于各种金属元素溅射系数方面的资料,十分感谢!
想了解合金靶材里溅射的原理,比如哪个元素先沉积等问题。
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mosleo

捐助贵宾 (小有名气)


【答案】应助回帖

★ ★ ★
URHX5454: 金币+3, 有帮助 2012-08-30 07:45:25
去看看杨邦朝老师的“电子材料学”,书中介绍了一些。你想要全部的不太可能,溅射速率和设备的影响很大。
4楼2012-08-28 18:37:46
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URHX5454

金虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by mosleo at 2012-08-28 18:37:46
去看看杨邦朝老师的“电子材料学”,书中介绍了一些。你想要全部的不太可能,溅射速率和设备的影响很大。

恩好的,谢谢
5楼2012-08-30 07:44:45
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