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求各种金属元素,化合物的溅射系数,十分感谢
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求各种金属元素,化合物的溅射系数,十分感谢
那位高手有关于各种金属元素溅射系数方面的资料,十分感谢!
想了解合金靶材里溅射的原理,比如哪个元素先沉积等问题。
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2012-08-22 22:56:03
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2012-08-23 15:37:30
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3楼
2012-08-25 12:01:52
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2012-08-30 07:45:25
去看看杨邦朝老师的“电子材料学”,书中介绍了一些。你想要全部的不太可能,溅射速率和设备的影响很大。
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4楼
2012-08-28 18:37:46
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4楼
:
Originally posted by
mosleo
at 2012-08-28 18:37:46
去看看杨邦朝老师的“电子材料学”,书中介绍了一些。你想要全部的不太可能,溅射速率和设备的影响很大。
恩好的,谢谢
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5楼
2012-08-30 07:44:45
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