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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 求各种金属元素，化合物的溅射系数，十分感谢
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URHX5454

金虫 (小有名气)

[求助] 求各种金属元素，化合物的溅射系数，十分感谢

那位高手有关于各种金属元素溅射系数方面的资料，十分感谢！
想了解合金靶材里溅射的原理，比如哪个元素先沉积等问题。
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1楼2012-08-22 22:56:03
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mosleo

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
URHX5454: 金币+3, ★有帮助 2012-08-30 07:45:25
去看看杨邦朝老师的“电子材料学”，书中介绍了一些。你想要全部的不太可能，溅射速率和设备的影响很大。
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4楼2012-08-28 18:37:46
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