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chcwyh

铜虫 (初入文坛)

[求助] CoFeB磁控溅射镀膜参数

敢问各位大侠,CoFeB比例为40:40:20的靶材,磁控溅射镀膜参数大概是多少,包括功率,镀膜速度,以及一些注意事项之类的
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chcwyh

铜虫 (初入文坛)

还的,非常感谢
2楼2012-06-20 15:52:13
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