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wenzhoucmm

新虫 (初入文坛)

[求助] 新手求助,磁控溅射,在银上溅射SiO2二氧化硅

求助,有谁做过在银上射频溅射二氧化硅么?我是先在玻璃片上直流溅射一层约50nm厚的银膜然后然后转射频溅射镀500nm厚的SiO2,样品拿出来一个小时后发现脱皮的现象,要怎么办呀?求高手相助!
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wenzhoucmm

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
7楼: Originally posted by leongoall at 2012-04-29 01:40:26:
楼上几位说的可能不太正确!
脱皮肯定是应力造成的!引起应力大的原因只有两种,一种是内部缺陷,一种是热膨胀系数的失配。这两种原因与最终表现出来的应力关系很复杂,但是大体可以分为两种:拉应力和压应力。
...

是向上凸起的,我拿去退火了一下好点,脱皮慢点,可还是会脱皮。请问除了镀膜的时候给基地加热还有其它办法吗?
8楼2012-05-02 18:52:16
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dingwf

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
提高真空度吧,真空太低了。
人的一生,有多少可以自己把握?
2楼2012-04-28 10:50:09
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wenzhoucmm

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by dingwf at 2012-04-28 10:50:09:
提高真空度吧,真空太低了。

什么是真空度?是降低镀SiO2的时候的压强么?我是在1Pa镀的
3楼2012-04-28 10:59:16
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wenzhoucmm

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by dingwf at 2012-04-28 10:50:09:
提高真空度吧,真空太低了。

背景真空是抽到5×10-4pa,
4楼2012-04-28 11:06:19
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